防靜電工作區(qū)技術(shù)要求

1、附件一防靜電工作區(qū)技術(shù)要求（試行）1. 范圍1.1 主題內(nèi)容本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了供操作靜電放電敏感電子產(chǎn)品用的防靜電工作區(qū)應(yīng)具備的各項(xiàng)技術(shù)要求。1.2 適用范圍本標(biāo)準(zhǔn)適用于防靜電工作區(qū)。2. 引用文件 GB4385-1995 防靜電鞋、導(dǎo)電鞋技術(shù)要求 GBI2014-89 防靜電工作服 GJB/Z25-91 電子設(shè)備和設(shè)施的接地、搭接和屏蔽設(shè)計(jì)指南 GJBI649-93 電子產(chǎn)品防靜電放電控制大綱 SJ/T10694-1996 電子產(chǎn)品制造防靜電系統(tǒng)測試方法 GJB3007-97 防靜電工作區(qū)域技術(shù)要求 3. 術(shù)語及縮寫詞3.1 術(shù)語3.1.1 防靜電工作區(qū) 配備各種防靜電設(shè)備和器材、能限制靜電電位、

2、具有確定邊界和專門標(biāo)記的適于從事靜電防護(hù)操作的場所。3.1.2 操作 在操作放電敏感電子產(chǎn)品的制造、老化、篩選、檢測、裝聯(lián)、包裝、儲存、修理和失效分析等過程中，直接或間接作用于產(chǎn)品的有效活動(dòng)。3.1.3 接地電子連接到能供給或接受大量電荷的物體（如大地、艦船或運(yùn)載工具外殼等）。3.1.4 硬接地直接與大地電極作導(dǎo)電性連接的一種接地方式。3.1.5 軟接地通過一足以限制流過人體的電流達(dá)到安全值的電阻連接到大地電極的一種接地方式。3.1.6 大地電極埋于地下與大地保持良好的電氣連接的金屬體或金屬體組。3.1.7 靜電耗散材料其表面電阻率等于或大于1×105/，但小于1×1012

3、/；或體積電阻率等于或大于1×104.cm，但小于1×1011.cm,能快速耗散其表面或體內(nèi)靜電荷的材料。3.1.8 導(dǎo)（靜）電材料 其表面電阻率小于1×105/或體積電阻率小于1×104.cm的材料。3.2 縮寫詞3.2.1 靜電放電 ESD electrostatic discharge3.2.2 靜電放電敏感（的）ESDS electrostatic discharge sensitive3.2.3 防靜電工作區(qū) EPA electrostatic discharge protected area3.2.4 接地連接點(diǎn) EBP earth bond

4、ing point4. 詳細(xì)要求4.1 防靜電標(biāo)志4.1.1 防靜電標(biāo)志應(yīng)符合GJB 1649的規(guī)定，如圖1和圖2所示。4.1.2 圖1和圖2所示的防靜電標(biāo)志適用于需要靜電防護(hù)的產(chǎn)品和靜電敏感的器件，單板和部件等需要進(jìn)行靜電防護(hù)的產(chǎn)品。圖1 防靜電標(biāo)記符號 圖2 防靜電標(biāo)志圖樣4.2 靜電電位如無另外規(guī)定，EPA內(nèi)的靜電電位應(yīng)滿足下列要求，即在任何情況下，在EPA內(nèi)貯存、使用或接受加工的未帶ESD外防護(hù)的ESDS產(chǎn)品周圍 300mm 空間之內(nèi)任一物體的靜電電位不得超過±100V。使用準(zhǔn)確度優(yōu)于±10% 的非接觸式靜電電壓表進(jìn)行測試。4.3 氣候與環(huán)境條件4.3.1 溫度EP

5、A內(nèi)應(yīng)裝設(shè)有溫度調(diào)節(jié)裝置，以維持其室溫在1535的范圍內(nèi)，保證每天的同一時(shí)間測量和記錄一次。4.3.2 濕度 EPA內(nèi)應(yīng)裝設(shè)有濕度調(diào)節(jié)裝置，保持其室內(nèi)相對濕度在4575范圍內(nèi)，保證每天的同一時(shí)間測量和記錄一次。4.4 靜電消除器（必要時(shí)）在工作臺面上方的適當(dāng)部位或其它部位，必要時(shí)應(yīng)裝設(shè)靜電消除器，以消除未打開的包裝件上的靜電荷和在操作過程中因人體、工具及其它物品相互摩檫在工件上產(chǎn)生的靜電荷。靜電消除器應(yīng)能消除任何一種極性的電荷，并在其有效防護(hù)區(qū)域內(nèi)使靜電位保持在規(guī)定值以內(nèi)，中和能力應(yīng)優(yōu)于±250V/S，一般配置離子風(fēng)扇，中和能力控制在1000V中和至100V的時(shí)間在2秒以內(nèi)。4.5

6、接地4.5.1 防靜電接地分系統(tǒng)防靜電地極接地，分別在制造中心大樓南、北樓中軸線埋裝三組地極銅板，每塊紫銅板的厚度為3mm，長度為1500mm，寬度為1000mm，埋沒入地下深度為2500mm，同時(shí)添加專用土質(zhì)降阻劑，地極銅板的接地電阻須小于1。4.5.2 PVC防靜電地板接地 將防靜電地板導(dǎo)電地網(wǎng)與地坪內(nèi)的防靜電銅排全部搭接。4.5.3 裝配、調(diào)試工作臺接地裝配、調(diào)試工作臺通過接地扣與防靜電地線連接，手腕帶接地通過導(dǎo)線BV6.0mm2和預(yù)留的防靜電地線連接。4.5.4 接地安裝注意a) 不允許交流線路的走線與直流地線緊貼或平行敷設(shè)，以防對直流信號造成干擾；b) 各接地分系統(tǒng)的連線之間應(yīng)當(dāng)相互

7、隔離，為此應(yīng)使用帶絕緣外皮的導(dǎo)線；c) 各接地干線之間的連線應(yīng)采用釬焊、熔焊或壓力連接件、卡箍等進(jìn)行搭接連接；d) 防靜電工具、裝置等的接地端子允許使用易于裝拆的各種夾式連接器，例如鍔魚夾、插頭座等，但應(yīng)確保電氣連接可靠；e) 防靜電工作臺和裝置、設(shè)備等的故障保護(hù)地線應(yīng)采用最小截面積不小于1.25mm2的多股敷塑導(dǎo)線，外皮顏色為黃綠色。4.6 各種器材、用具的靜電性能4.6.1 ESD防護(hù)工作臺面EPA內(nèi)的ESD防護(hù)工作臺面應(yīng)使用靜電耗散材料制成并接地良好。ESD防護(hù)工作臺面的對地電阻和表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻要求見表1。表1 EPA內(nèi)各種器材的靜電性能要求 單位：器 材 名 稱表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻對

8、地電阻穿戴狀態(tài)下對地電阻說 明工作臺面7.5×1051.0×10107.5×1051.0×109防靜電地面1.0×1051.0×10101.0×1051.0×109腕帶7.5×1053.5×1077.5×1055.0×106腕帶連線端對端測量鞋束(足跟帶)5×1041.0×108存放架運(yùn)輸小車7.5×1051.0×10107.5×1051.0×109周轉(zhuǎn)容器1031.0×1010防靜電工作服1×1

9、051.0×10101×1051.0×1010防靜電鞋5×1041.0×108雙腳測量4.6.2 ESD地坪EPA應(yīng)采用靜電耗散地板并接地良好，對其地電阻和表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻的要求見表1。4.6.3 ESD防護(hù)腕帶a) 腕帶內(nèi)表面（與手腕的接觸面）對地電阻應(yīng)符合表1的規(guī)定；b) 佩戴腕帶的情況下，對地電阻應(yīng)符合表1的規(guī)定；c) 供連接腕帶用的腕帶連線，其端對端之間的電阻應(yīng)符合表1的規(guī)定。4.6.4 物品存放架、內(nèi)部運(yùn)輸小車（物流車）應(yīng)能通過支架或輪子接地，它與工件接觸的表面應(yīng)由靜電耗散材料制作。對地電阻和表面電阻（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻值應(yīng)符合表1。4.

10、6.5 周轉(zhuǎn)容器（箱、盤、盒）其內(nèi)、外表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻應(yīng)符合表1規(guī)定。4.6.6 電烙鐵焊頭部位應(yīng)進(jìn)行硬接地，從焊頭至接地系統(tǒng)的電阻應(yīng)不大于2。應(yīng)定期檢查加熱絲與焊頭的絕緣性能(108)。4.6.7 防靜電服工作服應(yīng)符合GB12014的規(guī)定，其各部分之間應(yīng)存在著電氣連續(xù)性。工作服的設(shè)計(jì)應(yīng)保持其在穿著狀態(tài)下與人體皮膚直接或間接地接觸。工作服對地電阻和表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻要求按表1。 4.6.8 防靜電鞋進(jìn)入EPA的人員應(yīng)穿防靜電鞋。在穿用狀態(tài)下，鞋、襪對地電阻值應(yīng)符合表1對定。5. 技術(shù)管理要求5.1 人員培訓(xùn)凡與EPA相關(guān)的工作人員，均需經(jīng)過基本防靜電知識的培訓(xùn)。操作人員應(yīng)掌握各種器具的使用技

11、能和操作規(guī)則與方法。5.2 靜電源控制凡易于產(chǎn)生磨擦靜電的材料，例如普通塑料、橡膠、合成纖維等，在EPA內(nèi)盡量避免使用；若必須使用，則要配備離子風(fēng)機(jī)。5.3 包裝進(jìn)入EPA的元器件或組件，必須使用防護(hù)罩或袋進(jìn)行防靜電包裝（包括非ESDS產(chǎn)品）。即使已被發(fā)現(xiàn)為失效的元器件或組件，在送去修復(fù)或進(jìn)行失效原因分析之前，同樣需與正常品一樣進(jìn)行防靜電包裝。并且包裝與拆包裝操作均需在EPA內(nèi)進(jìn)行。5.4 人體防護(hù)5.4.1 凡進(jìn)入EPA的人員必須穿防靜電工作服，長頭發(fā)的人員應(yīng)佩戴由防靜電布料制作的工作帽，以防頭發(fā)與ESDS產(chǎn)品發(fā)生接觸放電。5.4.2 凡與ESDS產(chǎn)品接觸的人員，包括操作人員、工程技術(shù)或管理

12、人員、參觀人員等，需佩戴防靜電腕帶，并應(yīng)保持其與人體、與接地系統(tǒng)都接觸可靠。5.4.3 凡進(jìn)入EPA的人員必須穿防靜電工作鞋，并應(yīng)保持與防靜電地面接觸以泄漏人體靜電荷。5.4.4 必要時(shí)，應(yīng)佩戴防靜電手套或防靜電指套進(jìn)行操作。5.4.5 在EPA 內(nèi)的人員操作ESDS產(chǎn)品時(shí)不準(zhǔn)進(jìn)行與工作無關(guān)的肢體活動(dòng)。5.4.6 文件資料防護(hù)在EPA內(nèi)使用的文件資料，其與別的物體之間或文件自身之間的接觸分離，所產(chǎn)生的靜電位不能大于±100V。必要時(shí)，這些文件資料應(yīng)裝在透明防靜電包裝袋內(nèi)。5.4.7 EPA維護(hù)與檢查對EPA的各項(xiàng)技術(shù)要求，必須經(jīng)常性地進(jìn)行檢查、監(jiān)測，以維持其各項(xiàng)性能符合本標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

13、檢查的時(shí)間周期如下表所列。日檢測項(xiàng)目由使用個(gè)人完成，周、月、季檢測項(xiàng)目由工藝部完成。 檢測項(xiàng)目表檢查項(xiàng)目檢查周期測量儀器日周月季年防靜電手腕帶人體綜合測試儀防靜電鞋人體綜合測試儀環(huán)境溫度溫度計(jì)環(huán)境濕度濕度計(jì)儀器、設(shè)備、工作臺接地線電阻表面電阻測試儀離子風(fēng)機(jī)靜電電壓量測儀工作服表面電阻量測兆歐表工作臺面（包括臺墊）表面電阻與系統(tǒng)電阻兆歐表周轉(zhuǎn)容器表面電阻與系統(tǒng)電阻兆歐表存放容器、小車等表面電阻與系統(tǒng)電阻兆歐表電烙鐵接地電阻與絕緣電阻萬用表防靜電地面量測（表面電阻與系統(tǒng)電阻）兆歐表注： 全檢項(xiàng)目， 抽檢項(xiàng)目6. 附件附錄A 靜電敏感電子元器件附表一：防靜電手腕帶、防靜電鞋檢試記錄表附表二：溫度、濕

14、度記錄表附表三：設(shè)備、儀器、工具接地測量表審批： 審核： 擬制：附 錄 A（資料性附錄）靜電敏感電子元器件電子元器件靜電敏感度的分級如下：A1 1級（ £ 1999V）ESDS元器件 a) 微波器件（肖特基二極管，點(diǎn)接觸二極管和f > 1Ghz的檢波二極管）； b) MOS場效應(yīng)晶體管（MOSFET）； c) 結(jié)型場效應(yīng)晶體管（JFET）； d) 聲表面波器件（SAW）； e) 電荷耦合器件（CCD）； f) 精密穩(wěn)壓二極管（線性或負(fù)載電壓調(diào)整率小于0.5%）； g) 運(yùn)算放大器（OP AMP）； h) 集成電路（IC）； i) 混合電路（1級ESDS元件組成）； j) 特高速

15、集成電路（VHSIC）； k) 薄膜電阻器； l）可控硅整流器（SCR）（環(huán)境溫度100 時(shí)，I0 < 0.175A）。A2 2級（2000V3999V）ESDS元器件 a) MOS場效應(yīng)晶體管； b) 結(jié)型場效應(yīng)晶體管； c) 運(yùn)算放大器； d) 集成電路； e) 特高速集成電路； f) 精密電阻網(wǎng)絡(luò)（RZ型）； g) 混合電路（2級ESDS元件組成）； h) 低功率雙極型晶體管（Pt £ 100mV，Ic < 100mA）。A3 3級（4000V15999V）ESDS元器件 a) MOS場效應(yīng)晶體管； b) 結(jié)型場效應(yīng)晶體管； c) 運(yùn)算放大器； d) 集成電路； e

16、) 特高速集成電路； f) ESDS1級或2級不包括的所有其它微電子器件； g) 小信號二極管（P < 1W或I0 < 1A）； h) 一般硅整流器； i) 可控硅整流器（I0 > 0.175A）； j) 小功率雙極型晶體管（350mW > Pt > 100mV 和400mA > Ic > 100mA）； k) 光電器件（光電二極管、光電晶體管、光電耦合器）； l) 片狀電阻器； m) 混合電路（3級ESDS元器件組成）； n) 壓電晶體。富不貴只能是土豪，你可以一夜暴富，但是貴氣卻需要三代以上的培養(yǎng)?？鬃诱f“富而不驕，莫若富而好禮?！?如今我們不缺土豪，但是我們?nèi)鄙儋F族。高貴是大庇天下寒士俱歡顏的豪氣與悲憫之懷，高貴是位卑未敢忘憂國的壯志與擔(dān)當(dāng)之志 高貴是先天下之憂而憂的責(zé)任之心。精神的財(cái)富和高貴的內(nèi)心最能養(yǎng)成性格的高貴，以貴為美，在不知不覺中營造出和氣的氛圍；以貴為高，在潛移默化中提升我們的素質(zhì)。以貴為尊，在創(chuàng)造了大量物質(zhì)