關(guān)于氧施主單晶退火試驗(yàn)的報(bào)告

1、5電阻率、氧含量對(duì)比圖關(guān)于氧施主單晶退火試驗(yàn)的報(bào)告試驗(yàn)一共選取10片試片均有氧施主效應(yīng)單晶試片，分為兩組做實(shí)驗(yàn)(每組各5片)，使用不同工藝退火并放置一段時(shí)間，測(cè)試氧碳含量與電阻率變化趨勢(shì)。實(shí)驗(yàn)一以660C25min退火，實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)具體如下：a)一次退火實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)電阻率退火前不打磨電阻率退火前打磨后電阻率660C25min退火后風(fēng)冷電阻率660C25min退火后浸水冷電阻率退火后第二天*電阻率退火后第三天電阻率退火后第四天氧含量退火前不打磨氧含量660C25min退火后浸水冷氧含量退火后第二天氧含量退火后第三天氧含量退火后第四天一次退火實(shí)驗(yàn)：電阻率退火后明顯下降，但未找到規(guī)律性的數(shù)據(jù)，放置多日電阻率

2、多數(shù)無(wú)明顯變化，氧含量平均升高值為0.412X10i7atoms/cc，放置多日測(cè)試氧含量無(wú)明顯變化趨勢(shì);b)二次退火實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)電阻率、氧含量對(duì)比圖電阻率660C25min退火后風(fēng)冷竄電阻率660C25min退火后浸水冷電阻率退火后第二天I電阻率退火后第三天電阻率退火后第四天氧含量660C25min退火后浸水冷章氧含量退火后第二天9氧含量660C25min退火后風(fēng)冷氧含量退火后第三天氧含量退火后第四天二次退火實(shí)驗(yàn)：電阻率在經(jīng)過(guò)二次退火實(shí)驗(yàn)時(shí)無(wú)明顯變化，放置也無(wú)變化趨勢(shì)，氧含量比二次退火前升高0.14X1017atoms/cc,放置多日測(cè)試氧含量無(wú)明顯變化趨勢(shì)。實(shí)驗(yàn)二以660C45min退火，實(shí)驗(yàn)

3、數(shù)據(jù)具體如下。a)一次退火實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)電阻率、氧含量對(duì)比圖9876電阻率退火前不打磨電阻率退火前打磨后電阻率660C45min退火后風(fēng)冷電阻率660C45min退火后浸水冷電阻率退火后第二天電阻率退火后第三天電阻率退火后第四天氧含量退火前不打磨氧含量660C45min退火后浸水冷氧含量退火后第三天氧含量退火后第二天一次退火實(shí)驗(yàn)：電阻率退火后明顯下降，但未找到規(guī)律性的數(shù)據(jù)，放置多日電阻率多數(shù)無(wú)明顯變化，氧含量平均升高值為0.378X10i7atoms/cc，放置多日測(cè)試氧含量無(wú)明顯變化趨勢(shì);電阻率、氧含量對(duì)比圖0123456電阻率660C45min退火后風(fēng)冷b)二次退火實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)電阻率660C45min退火后浸水冷電阻率退火后第二天電阻率退火后第三天電阻率退火后第四天氧含量660C25min退火后浸水冷氧含量退火后第二天氧含量660C25min退火后風(fēng)冷A_氧含量退火后第三天二次退火實(shí)驗(yàn)：電阻率在經(jīng)過(guò)二次退火實(shí)驗(yàn)時(shí)無(wú)明顯變化，放置也無(wú)變化趨勢(shì)，氧含量平均升高值為0.05X10i7atoms/cc,放置多日測(cè)試氧含量無(wú)明顯變化趨勢(shì)。實(shí)驗(yàn)結(jié)論：1、熱施主單晶經(jīng)過(guò)660C退火后能夠消除部分熱施主現(xiàn)象，時(shí)間25min、45min對(duì)退火作用基本相同。2、退火后電阻率不