MEMS國內(nèi)外發(fā)展狀況課件

1、MEMS傳感器MEMS傳感器國內(nèi)MEMS研究機構(gòu)清華大學精密儀器與機械學院天津大學精密儀器與光電子工程學院中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所東南大學儀器科學與工程學院國內(nèi)MEMS研究機構(gòu)清華大學精密儀器與機械學院清華大學精密儀器與機械學院精密測試技術(shù)及儀器國家重點實驗室清華大學精密儀器與機械學院精密測試技術(shù)及儀器國家重點實驗室清華大學精密儀器與機械學院研究成果一、微機電系統(tǒng)與測控技術(shù)微機械陀螺技術(shù)微系統(tǒng)與控制技術(shù)傳感技術(shù)與智能儀器二、空間微系統(tǒng)技術(shù)微型姿態(tài)敏感器技術(shù)微能源技術(shù)掃描探測技術(shù)清華大學精密儀器與機械學院研究成果清華大學精密儀器與機械學院微系統(tǒng)清華大學精密儀器與機械學院微系統(tǒng)國內(nèi)MEMS

2、研究機構(gòu)清華大學精密儀器與機械學院天津大學精密儀器與光電子工程學院中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所東南大學儀器科學與工程學院國內(nèi)MEMS研究機構(gòu)清華大學精密儀器與機械學院天津大學精密儀器與光電子工程學院天津大學精密儀器與光電子工程學院天津大學精密儀器與光電子工程學院精密儀器工程系智能結(jié)構(gòu)系統(tǒng)及儀器激光數(shù)控精密加工微電子機械系統(tǒng)無損檢測及動態(tài)測試系統(tǒng) 天津大學精密儀器與光電子工程學院精密儀器工程系國內(nèi)MEMS研究機構(gòu)清華大學精密儀器與機械學院天津大學精密儀器與光電子工程學院中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所東南大學儀器科學與工程學院國內(nèi)MEMS研究機構(gòu)清華大學精密儀器與機械學院 中科院上海微系統(tǒng)與

3、信息技術(shù)研究所研究成果多層三維微機械結(jié)構(gòu)技術(shù)硅片沿晶向KOH腐蝕凸角補償技術(shù) 干法刻蝕積累電荷釋放和可動結(jié)構(gòu)保護技術(shù) 圓片級封裝方法 中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所研究成果中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所微機電系統(tǒng)中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所微機電系統(tǒng)國內(nèi)MEMS研究機構(gòu)清華大學精密儀器與機械學院天津大學精密儀器與光電子工程學院中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所東南大學儀器科學與工程學院國內(nèi)MEMS研究機構(gòu)清華大學精密儀器與機械學院東南大學儀器科學與工程學院研究成果微型慣性儀表與系統(tǒng)研究方面，是國內(nèi)最早從事MEMS陀螺的2家高校之一 ，在MEMS陀螺的結(jié)構(gòu)設計等關(guān)鍵技術(shù)上已取得重要進展 東

4、南大學儀器科學與工程學院研究成果東南大學儀器科學與工程學院東南大學儀器科學與工程學院北京大學 深槽刻蝕機 雙面光刻機復旦大學 壓阻方面 哈工大 電化學腐蝕方面北京大學 深槽刻蝕機 雙面光刻機國外MEMS研究機構(gòu)意法半導體德州儀器（）惠普公司博世公司國外MEMS研究機構(gòu)意法半導體意法半導體發(fā)展趨勢在單一封裝內(nèi)整合多個傳感器（加速度、陀螺儀、地磁、壓力），iNEMO是這種發(fā)展趨勢的實際案例 。意法半導體發(fā)展趨勢意法半導體汽車內(nèi)置導航系統(tǒng)意法半導體汽車內(nèi)置導航系統(tǒng)德州儀器（）投影儀的數(shù)字光處理(DLP)芯片 MEMS溫度傳感器 德州儀器（）投影儀的數(shù)字光處理(DLP)芯片 惠普公司噴墨打印頭的MEMS熱激勵器惠普公司噴墨打印頭的MEMS熱激勵器博世公司全球最大的汽車MEMS器件生產(chǎn)商，主做慣性與壓力