真空激光準(zhǔn)直位移測(cè)量裝置

ICS27.140

CCSP59

備案號(hào)：

中華人民共和國電力行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

DL/T328—20**

代替DL/T328-2010

真空激光準(zhǔn)直位移測(cè)量裝置

Vacuumlaseralignmentdisplacementmeasuringapparatus

（征求意見稿）

（在提交反饋意見時(shí)，請(qǐng)將您知道的相關(guān)專利連同支持性文件一并附上）

20--發(fā)布20--實(shí)施

國家能源局發(fā)布

DL/T328—20**

目次

前言.................................................................................II

1范圍...............................................................................1

2規(guī)范性引用文件.....................................................................1

3術(shù)語和定義.........................................................................1

4產(chǎn)品原理、結(jié)構(gòu)及規(guī)格...............................................................2

5技術(shù)要求...........................................................................3

6試驗(yàn)方法...........................................................................5

7檢驗(yàn)規(guī)則...........................................................................7

8標(biāo)志、說明書、包裝、運(yùn)輸、儲(chǔ)存.....................................................8

I

DL/T328—20**

前言

本文件依據(jù)GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》給出的

規(guī)則起草。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專利的責(zé)任。

本文件代替DL/T328-2010《真空激光準(zhǔn)直位移測(cè)量裝置》，與DL/T328-2010相比，除編輯性修訂

外，主要技術(shù)內(nèi)容變化如下：

——增加“自動(dòng)化測(cè)控裝置”技術(shù)要求及試驗(yàn)方法（見5.4.5，6.3.4）；

——增加“輔助功能裝置”技術(shù)要求及試驗(yàn)方法（見5.4.6，6.3.4）；

——增加“浪涌（沖擊）抗擾度”技術(shù)要求及試驗(yàn)方法（見5.7，6.6）；

——增加“抗電磁干擾”技術(shù)要求及試驗(yàn)方法（見5.8，6.7）；

——增加“合格證內(nèi)容要求”（見7.2.3）；

——增加“出廠檢驗(yàn)資料要求”（見7.2.4）；

——增加“使用說明書要求”（見8.2）；

——修訂“規(guī)范性引用文件”（見2）；

——修訂“測(cè)量真空度”術(shù)語和定義：要求關(guān)閉真空泵關(guān)閉狀態(tài)0.5h以上，修訂為：要求關(guān)閉真

空泵關(guān)閉狀態(tài)10分鐘以上（見3.6）；

——修訂“絕緣電阻”技術(shù)要求及試驗(yàn)方法（見5.5，6.4）；

——修訂“抗電強(qiáng)度”技術(shù)要求及試驗(yàn)方法（見5.6，6.5）；

——修訂“耐運(yùn)輸顛振”技術(shù)要求及試驗(yàn)方法（見5.10，6.9）；

——修訂“標(biāo)志的相關(guān)要求”（見8.1）；

——修訂“包裝”要求（見8.2）。

本文件由中國電力企業(yè)聯(lián)合會(huì)提出。

本文件由電力行業(yè)大壩安全監(jiān)測(cè)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（DL/TC32）歸口。

本文件主要起草單位：北京木聯(lián)能工程科技有限公司、西安聯(lián)能自動(dòng)化工程有限責(zé)任公司、

中水東北勘測(cè)設(shè)計(jì)研究有限責(zé)任公司。

本文件主要起草人：。

本文件歷次版本發(fā)布情況為：

——2010年首次發(fā)布為DL/T328-2010；

——本次為第一次修訂。

本文件在執(zhí)行過程中的意見或建議反饋至中國電力企業(yè)聯(lián)合會(huì)標(biāo)準(zhǔn)化管理中心（北京市白廣路二條

一號(hào)，100761）。

II

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真空激光準(zhǔn)直位移測(cè)量裝置

1范圍

本文件規(guī)定了真空激光準(zhǔn)直位移測(cè)量裝置（以下簡(jiǎn)稱真空激光準(zhǔn)直裝置）的產(chǎn)品規(guī)格、技術(shù)要

求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、儲(chǔ)存。

本文件適用于大壩及其它巖土工程安全監(jiān)測(cè)中應(yīng)用真空激光準(zhǔn)直法測(cè)量水平、垂直位移的真空

激光準(zhǔn)直裝置。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用

文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）

適用于本文件。

GB/T191包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志

GB6388運(yùn)輸包裝收發(fā)貨標(biāo)志

GB/T9969工業(yè)產(chǎn)品使用說明書總則

GB/T13384機(jī)電產(chǎn)品包裝通用技術(shù)條件

GB/T17626.3電磁兼容試驗(yàn)和測(cè)量技術(shù)：射頻電磁場(chǎng)輻射抗擾度試驗(yàn)

GB/T17626.5電磁兼容試驗(yàn)和測(cè)量技術(shù)：浪涌(沖擊)抗擾度試驗(yàn)

DL/T478靜態(tài)繼電器保護(hù)及安全自動(dòng)裝置通用技術(shù)條件

3術(shù)語和定義

3.1激光發(fā)射裝置lasinglightemitter

一種由定位擴(kuò)束小孔光欄，激光器和電源適配器等組成的裝置。用于產(chǎn)生一條作為真空激光準(zhǔn)直

裝置測(cè)量的激光束。

3.2波帶板zoneplate

對(duì)激光束起衍射聚焦作用，安裝在測(cè)點(diǎn)箱內(nèi)部，反映測(cè)點(diǎn)位移變化的部件。

3.3測(cè)點(diǎn)箱measuringpointbox

安裝于測(cè)點(diǎn)位置，用于安放波帶板及其控制裝置的部件。

3.4激光接收裝置laserspotdisplacementreceiver

用于對(duì)各測(cè)點(diǎn)波帶板光斑成像及位置測(cè)量，有人工和自動(dòng)兩種。

3.5自動(dòng)化測(cè)控裝置Automaticmeasurementandcontroldevice

用于對(duì)各測(cè)點(diǎn)波帶板起落、光斑成像及位置測(cè)量及管道真空度進(jìn)行自動(dòng)控制的裝置。

3.6真空管道vacuumpipeline

用于通過激光束的專用管道，由激光發(fā)射裝置平晶密封段、激光接收裝置平晶密封段、測(cè)點(diǎn)箱、

軟連接段、連接管道等部件組成，測(cè)量時(shí)管道內(nèi)處于真空狀態(tài)。

3.7測(cè)量真空度measuringvacuum

真空激光準(zhǔn)直裝置測(cè)量時(shí)的真空管道內(nèi)的真空度，要求真空泵關(guān)閉狀態(tài)10分鐘以上。

3.8保持真空度vacuumkeep

真空激光準(zhǔn)直裝置非測(cè)量狀態(tài)時(shí)真空管道內(nèi)的控制真空度。

3.9抽真空時(shí)間vacuumizingtime

從保持真空度狀態(tài)到測(cè)量真空度狀態(tài)的抽真空時(shí)間。

3.10漏氣率leakagerate

從測(cè)量真空度狀態(tài)到小于保持真空度狀態(tài)單位時(shí)間真空度變化值。

3.11系統(tǒng)綜合誤差systematiccombinederror

真空激光準(zhǔn)直裝置在測(cè)量范圍內(nèi)由于波帶板成像、折光差（真空度、溫度梯度）、光斑測(cè)量誤差

等因素影響而產(chǎn)生的總誤差。取極差，即校正過程中，光斑測(cè)量按該測(cè)點(diǎn)歸化系數(shù)計(jì)算位移值與該

測(cè)點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)位移給定量的最大偏差值。

1

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4產(chǎn)品原理、結(jié)構(gòu)及規(guī)格

4.1產(chǎn)品原理

真空激光準(zhǔn)直裝置是根據(jù)光的衍射原理，利用激光源（點(diǎn)光源）、波帶板中心和像點(diǎn)中心三點(diǎn)一

線，在一端安裝激光發(fā)射裝置，在另一端安裝激光接收裝置，在中間測(cè)點(diǎn)上安裝波帶板。激光發(fā)射

裝置發(fā)射出的激光束在真空中傳輸，照滿波帶板，波帶板起聚焦作用，在激光接收裝置上形成圓形

亮點(diǎn)（針對(duì)圓形波帶板）或十字形亮線（針對(duì)方形波帶板）。在激光接收裝置上測(cè)出亮點(diǎn)或亮線的光

斑重心位置，即可計(jì)算出測(cè)點(diǎn)的測(cè)值。

如圖1所示，將激光發(fā)射裝置置于A點(diǎn)，激光接收裝置置于B點(diǎn)，波帶板置于i點(diǎn)。當(dāng)i點(diǎn)位

移變化時(shí)，在激光接收裝置的讀數(shù)值為l,根據(jù)相似三角形原理，計(jì)算出成像波帶板所在測(cè)點(diǎn)的測(cè)值

L。

l

L

BiA

Si

D

圖1真空激光準(zhǔn)直裝置測(cè)點(diǎn)測(cè)值計(jì)算示意圖

LKl（1）

S

Ki

D

式中：

L——測(cè)點(diǎn)測(cè)值,mm；

——激光接收裝置讀數(shù)值，mm；

K——?dú)w化系數(shù)；

Si——測(cè)點(diǎn)至激光發(fā)射裝置的距離，m；

D——激光準(zhǔn)直全長(zhǎng)，m。

4.2結(jié)構(gòu)形式

真空激光準(zhǔn)直裝置由激光發(fā)射裝置、測(cè)點(diǎn)箱（含波帶板）、真空管道（含真空泵及配套設(shè)備）、激

光接收裝置、自動(dòng)化測(cè)控裝置、輔助功能裝置組成，如圖2所示。

圖2真空激光準(zhǔn)直裝置結(jié)構(gòu)示意圖

2

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4.3規(guī)格和主要參數(shù)

真空激光準(zhǔn)直裝置規(guī)格和主要參數(shù)見表1和表2。

表1真空激光準(zhǔn)直裝置規(guī)格和主要參數(shù)（一）

光斑位置測(cè)量?jī)蓚€(gè)“半測(cè)回”

光斑位置測(cè)量范圍系統(tǒng)綜合誤差通光口徑準(zhǔn)直線長(zhǎng)度

序號(hào)分辨力測(cè)得偏離值之差

mmmmmmm

mmmm

1150×150≤0.1≤0.3≤0.3≥150<400

2200×200≤0.1≤0.3≤0.3≥200400～800

3250×250≤0.1≤0.3≤0.4≥250800～1200

4300×300≤0.1≤0.3≤0.6≥3001200～2000

表2真空激光準(zhǔn)直裝置規(guī)格和主要參數(shù)（二）

序號(hào)名稱參數(shù)

1測(cè)量真空度＜66Pa

2保持真空度＜20kPa

3漏氣率＜120Pa/h

4抽真空時(shí)間＜1h

5技術(shù)要求

5.1環(huán)境條件

5.1.1正常工作條件

a）環(huán)境溫度：-20℃～60℃；

b）相對(duì)濕度：≤95％（無凝露）；

c）大氣壓力：53kPa～106kPa。

5.1.2正常試驗(yàn)條件

a）環(huán)境溫度：10℃～30℃；

b）相對(duì)濕度：15％～75％；

c）大氣壓力：86kPa～106kPa。

5.1.3周圍環(huán)境要求

無爆炸危險(xiǎn)、無油煙、粉塵、腐蝕性氣體及導(dǎo)電塵埃、無嚴(yán)重霉菌、無劇烈振動(dòng)沖擊源。

一般地區(qū)，接地電阻不宜大于10Ω，對(duì)于強(qiáng)雷擊區(qū)，接地電阻應(yīng)不大于4Ω。

5.2性能參數(shù)

真空激光準(zhǔn)直裝置的性能參數(shù)應(yīng)滿足以下要求：

5.2.1真空激光準(zhǔn)直裝置在往返一測(cè)回中，測(cè)點(diǎn)兩次測(cè)量的偏離值之差應(yīng)符合表1的規(guī)定。

5.2.2系統(tǒng)綜合誤差。真空激光準(zhǔn)直裝置的系統(tǒng)綜合誤差應(yīng)符合表1的規(guī)定。

5.3真空度

真空激光準(zhǔn)直裝置的測(cè)量真空度、保持真空度、漏氣率、抽真空時(shí)間應(yīng)符合表2的規(guī)定。

5.4零部件

5.4.1激光發(fā)射裝置

a)小孔光欄的直徑應(yīng)使激光束在最靠近激光發(fā)射裝置的波帶板處，形成的光斑直徑大于波帶

板有效直徑的1.5～2倍。

b)激光器應(yīng)采用發(fā)散角小（1mrad～3mrad）、功率適宜（一般1mW～3mW）的He-Ne或固態(tài)激

光器。

c)激光器電源應(yīng)和激光器相匹配。

3

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5.4.2波帶板起落裝置

a)波帶板保證成像質(zhì)量滿足測(cè)量要求；

b)波帶板起落宜采用微電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)，由激光接收裝置操作控制。

5.4.3真空管道

a)真空管道內(nèi)徑應(yīng)大于波帶板最大通光孔徑的1.5倍，或大于測(cè)點(diǎn)最大位移量引起像點(diǎn)位移

量的1.5倍，但不宜小于150mm。

b)每個(gè)測(cè)點(diǎn)箱和兩側(cè)管道間應(yīng)設(shè)軟連接段。軟連接段宜采用波紋管，其內(nèi)徑應(yīng)和管道內(nèi)

徑匹配，長(zhǎng)度應(yīng)依據(jù)管道的長(zhǎng)度、溫差等因素確定。

c)兩端平晶密封段應(yīng)具有足夠的剛度。

d)真空泵應(yīng)配有電磁閥門和真空度測(cè)量?jī)x表；在真空泵和真空管道之間應(yīng)設(shè)金屬減震波

紋管；真空泵應(yīng)采用自動(dòng)和人工控制的工作方式。

e)真空管道內(nèi)的測(cè)量真空度、保持真空度、漏氣率、抽真空時(shí)間應(yīng)滿足表2的要求。

5.4.4激光接收裝置

a)激光接收裝置應(yīng)具有自動(dòng)和人工觀測(cè)兩種方式。

b)激光接收裝置光斑位置測(cè)量量程、分辨力應(yīng)滿足表1的要求。

5.4.5自動(dòng)化測(cè)控裝置

a)具有控制真空泵自動(dòng)開停、波帶板自動(dòng)起落功能，自動(dòng)讀取管道真空度數(shù)據(jù)功能。

b)具有定時(shí)自動(dòng)測(cè)量功能。

c)具有數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能，應(yīng)存儲(chǔ)100次以上的測(cè)量數(shù)據(jù)。

d)應(yīng)支持符合國際標(biāo)準(zhǔn)的通信接口，向上通信推薦使用局域網(wǎng)，向下推薦使用RS485。

e)應(yīng)采用具有支持網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)的通信協(xié)議，并提供相關(guān)的協(xié)議文檔或軟件接口，如控件、函數(shù)

庫、動(dòng)態(tài)鏈接庫等。

f)應(yīng)具有自診斷功能。

g)更換激光器、接收端光斑探測(cè)裝置時(shí)，不影響測(cè)值連續(xù)性。

5.4.6輔助功能裝置

a)宜設(shè)置更換激光器輔助裝置，宜在接收端設(shè)置光斑監(jiān)視攝像機(jī)、宜在發(fā)射端設(shè)置監(jiān)視器顯

示光斑。

b)宜配備人工測(cè)點(diǎn)控制設(shè)備，用于控制測(cè)點(diǎn)波帶板起落，用于人工觀測(cè)。

5.5絕緣電阻

在正常試驗(yàn)條件下，激光發(fā)射裝置、激光接收裝置、波帶板起落裝置、自動(dòng)化測(cè)控裝置等零部

件的交流輸入回路與外殼之間絕緣電阻值應(yīng)大于50MΩ。

5.6抗電強(qiáng)度

在正常試驗(yàn)條件下，激光發(fā)射裝置、激光接收裝置、波帶板起落裝置、自動(dòng)化測(cè)控裝置等零部

件的交流輸入回路與外殼之間介質(zhì)強(qiáng)度應(yīng)滿足DL/T478的要求。

5.7浪涌（沖擊）抗擾度

激光發(fā)射裝置、激光接收裝置、波帶板起落裝置、自動(dòng)化測(cè)控裝置等零部件應(yīng)具備滿足

GB/T17626.5中試驗(yàn)等級(jí)1的防浪涌沖擊能力，在發(fā)生浪涌沖擊（如雷擊）后數(shù)據(jù)不丟失、不失真，

裝置正常運(yùn)行。

5.8抗電磁干擾

激光發(fā)射裝置、激光接收裝置、波帶板起落裝置、自動(dòng)化測(cè)控裝置等零部件應(yīng)滿足GB/T17626.3

中試驗(yàn)等級(jí)1要求的防電磁干擾的能力，在發(fā)生干擾后數(shù)據(jù)應(yīng)不丟失、不失真，裝置正常運(yùn)行。

5.9連續(xù)通電

激光發(fā)射裝置、激光接收裝置、波帶板起落裝置、自動(dòng)化測(cè)控裝置應(yīng)進(jìn)行72h連續(xù)通電試驗(yàn)。

5.10耐運(yùn)輸顛振性能

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在運(yùn)輸包裝狀態(tài)下，設(shè)置振動(dòng)系統(tǒng)的掃頻振動(dòng)頻率為10Hz～150Hz～10Hz，掃頻速度為1倍頻

程/min，加速度為2g，對(duì)真空激光準(zhǔn)直裝置激光發(fā)射裝置、激光接收裝置、自動(dòng)化測(cè)控裝置進(jìn)行循

環(huán)3個(gè)周期/單軸振動(dòng)試驗(yàn)。試驗(yàn)后測(cè)試其性能參數(shù)、絕緣性能仍應(yīng)滿足5.2和5.5的要求，且外觀

符合5.11的要求。

5.11外觀及其它

a)全部零部件表面應(yīng)無銹斑，無明顯劃痕，無裂痕及凹陷損傷；

b)全部金屬零部件除不銹金屬材料外，都必須進(jìn)行防銹處理；

c)標(biāo)識(shí)、標(biāo)牌圖案清晰，表面無污染；

d)緊固件應(yīng)無松動(dòng)，位置調(diào)節(jié)螺栓轉(zhuǎn)動(dòng)靈活。

6試驗(yàn)方法

6.1性能參數(shù)檢驗(yàn)

6.1.1主要試驗(yàn)設(shè)備

a)水平位移給進(jìn)設(shè)備；

b)500mm游標(biāo)卡尺，示值誤差≤±0.03mm；

a）真空表（計(jì)）；

b）100V兆歐表；

c)運(yùn)輸顛振試驗(yàn)臺(tái)：最大加速度20g，頻率范圍2Hz～600Hz。

6.1.2試驗(yàn)步驟

試驗(yàn)步驟如下：

a)在正常試驗(yàn)條件下，將真空激光準(zhǔn)直裝置按不少于80m的真空管道長(zhǎng)度及三個(gè)測(cè)點(diǎn)位置安

裝于試驗(yàn)場(chǎng)地，將波帶板或已安裝波帶板的測(cè)點(diǎn)箱固定在水平位移給進(jìn)設(shè)備上。

b)開啟抽真空設(shè)備，抽真空至真空管道內(nèi)的真空度滿足5.3的要求。

c)在真空管道內(nèi)真空度滿足5.3的條件下，從設(shè)定的水平零點(diǎn)位移開始，按激光接收裝置量

程范圍內(nèi)，選取三個(gè)給定值（0，50%F.S，100%F.S），分別記錄測(cè)點(diǎn)給進(jìn)位移和激光接收裝

置測(cè)量位移。

d)按（a）～（c）的步驟至少進(jìn)行3次試驗(yàn)。

6.1.3參數(shù)的確定

a)真空激光準(zhǔn)直裝置水平位移量在往返各次測(cè)回中，測(cè)點(diǎn)兩次位移測(cè)量的偏離值之差應(yīng)符合

5.2.1的規(guī)定。

b)系統(tǒng)綜合誤差

按6.1.2中（d）試驗(yàn)的各次測(cè)值與給定值之差值應(yīng)符合5.2.2的規(guī)定。

6.2真空度的確定

6.2.1測(cè)量真空度

測(cè)量狀態(tài)下，關(guān)閉真空泵，待管道內(nèi)壓力平衡后，讀取真空度值，應(yīng)符合5.3的規(guī)定。

6.2.2保持真空度

測(cè)量狀態(tài)下，關(guān)閉真空泵，等待168h，讀取真空度值，應(yīng)符合5.3的規(guī)定。

6.2.3漏氣率

測(cè)量狀態(tài)下，關(guān)閉真空泵，讀取真空度，等待168h以上，在真空度小于保持真空度狀態(tài)下，

讀取真空度值和等待時(shí)間，計(jì)算漏氣率，應(yīng)符合5.3的規(guī)定。

6.2.4抽真空時(shí)間

從保持真空度抽真空時(shí)，開始計(jì)時(shí)，到抽到測(cè)量真空度為止，結(jié)束計(jì)時(shí)，計(jì)算抽真空時(shí)間

應(yīng)符合5.3的規(guī)定。

6.3零部件試驗(yàn)

6.3.1激光發(fā)射裝置試驗(yàn)

a)激光發(fā)射裝置所選用的激光器的發(fā)散角應(yīng)符合5.4.1（b）的規(guī)定。

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b)用光功率計(jì)測(cè)量激光發(fā)射裝置激光器的功率應(yīng)符合5.4.1（b）的規(guī)定。

6.3.2波帶板起落裝置試驗(yàn)

a)波帶板按測(cè)點(diǎn)位置成像應(yīng)符合5.4.2（a）的規(guī)定。

b)波帶板起落操作控制應(yīng)符合5.4.2（b）的規(guī)定。

6.3.3激光接收裝置試驗(yàn)

激光接收裝置光斑位置測(cè)量所選用的自動(dòng)測(cè)量或人工觀測(cè)的量程、分辨力應(yīng)符合5.4.4（b）

的規(guī)定。

6.3.4自動(dòng)化測(cè)控裝置試驗(yàn)

試驗(yàn)步驟如下：

a)在正常試驗(yàn)條件下，按6.1.2a）布設(shè)好設(shè)備，連接自動(dòng)化測(cè)控裝置，自動(dòng)化測(cè)控裝置通

過通信接口和計(jì)算機(jī)連接。

b)對(duì)自動(dòng)化測(cè)控裝置控制真空泵自動(dòng)開停、波帶板自動(dòng)起落，自動(dòng)讀取管道真空度數(shù)據(jù)進(jìn)行

測(cè)試，結(jié)果滿足5.4.5a）的要求。

c)對(duì)自動(dòng)化測(cè)控裝置設(shè)置定時(shí)自動(dòng)測(cè)量時(shí)間，進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量，結(jié)果滿足5.4.5b）的要求。

d)對(duì)自動(dòng)化測(cè)控裝置設(shè)置定時(shí)自動(dòng)測(cè)量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)時(shí)間，進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，結(jié)果滿足

5.4.5c）的要求。

e)對(duì)自動(dòng)化測(cè)控裝置進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量，結(jié)果滿足5.4.5d）的要求。

f)通過計(jì)算機(jī)對(duì)自動(dòng)化測(cè)控裝置進(jìn)行各種功能測(cè)試，結(jié)果滿足5.4.5e、f)的要求。

g)更換激光器前測(cè)量記錄各測(cè)點(diǎn)讀數(shù)，更換后測(cè)量記錄各測(cè)點(diǎn)讀數(shù)，對(duì)比前后讀數(shù)應(yīng)小于兩

個(gè)“半測(cè)回”測(cè)得偏離值之差。

h)更換光斑探測(cè)前測(cè)量記錄各測(cè)點(diǎn)讀數(shù)，更換后測(cè)量記錄各測(cè)點(diǎn)讀數(shù)，對(duì)比前后讀數(shù)應(yīng)小于

兩個(gè)“半測(cè)回”測(cè)得偏離值之差。

6.4絕緣電阻試驗(yàn)

在正常試驗(yàn)條件下，用100V的兆歐表測(cè)量激光發(fā)射裝置、激光接收裝置、波帶板起落裝置、

自動(dòng)化測(cè)控裝置等零部件的交流輸入回路與外殼之間的絕緣電阻值，應(yīng)滿足5.5的要求。

6.5抗電強(qiáng)度試驗(yàn)

在正常試驗(yàn)條件下，用耐壓測(cè)試儀對(duì)激光發(fā)射裝置、激光接收裝置、波帶板起落裝置、自動(dòng)化

測(cè)控裝置進(jìn)行抗電強(qiáng)度試驗(yàn)，試驗(yàn)電壓從零開始在5s內(nèi)逐漸升高到2000V，并保持1min，隨后迅

速平滑地降到零值，測(cè)試完畢斷電后用接地線對(duì)裝置進(jìn)行安全放電，試驗(yàn)結(jié)果應(yīng)滿足5.6的要求。

6.6浪涌（沖擊）抗擾度試驗(yàn)

在正常試驗(yàn)條件下，按GB/T17626.5試驗(yàn)等級(jí)1的要求對(duì)激光發(fā)射裝置、激光接收裝置、波帶

板起落裝置、自動(dòng)化測(cè)控裝置進(jìn)行浪涌（沖擊）抗擾度試驗(yàn)，結(jié)果應(yīng)滿足本文件5.7的要求。

6.7抗電磁干擾試驗(yàn)

按照GB/T17626.3中試驗(yàn)等級(jí)1的要求對(duì)激光發(fā)射裝置、激光接收裝置、波帶板起落裝置、自

動(dòng)化測(cè)控裝置進(jìn)行抗電磁干擾試驗(yàn)，試驗(yàn)后功能應(yīng)滿足5.8的要求。

6.8連續(xù)通電試驗(yàn)

根據(jù)5.9的要求，激光發(fā)射裝置、激光接收裝置、波帶板起落裝置、自動(dòng)化測(cè)控裝置完成裝配

調(diào)試后，應(yīng)進(jìn)行不少于72h連續(xù)通電試驗(yàn)。通電結(jié)束后，應(yīng)能正常工作。

6.9耐運(yùn)輸顛振性能試驗(yàn)

真空激光準(zhǔn)直裝置的激光發(fā)射裝置、激光接收裝置、波帶板起落裝置、自動(dòng)化測(cè)控裝置等部件

按運(yùn)輸要求包裝好后直接固定在運(yùn)輸顛振試驗(yàn)臺(tái)上，按5.10規(guī)定的加速度、頻率范圍和歷時(shí)時(shí)間進(jìn)

行試驗(yàn)，結(jié)束后先進(jìn)行外觀檢測(cè)，應(yīng)滿足5.11的要求，然后按6.1進(jìn)行其性能參數(shù)試驗(yàn)，應(yīng)滿足5.2

的要求。

6.10外觀及其它檢驗(yàn)

采用目測(cè)及手動(dòng)檢驗(yàn)，應(yīng)滿足5.11的要求。

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7檢驗(yàn)規(guī)則

7.1檢驗(yàn)分類

產(chǎn)品檢驗(yàn)分出廠檢驗(yàn)、現(xiàn)場(chǎng)檢驗(yàn)和型式檢驗(yàn)三種。

7.2出廠檢驗(yàn)

表3檢驗(yàn)項(xiàng)目

序號(hào)檢驗(yàn)項(xiàng)目名稱出廠檢驗(yàn)現(xiàn)場(chǎng)檢驗(yàn)型式檢驗(yàn)技術(shù)要求試驗(yàn)方法

1性能參數(shù)(1)－√√5．2．16．1．3（1）

2性能參數(shù)(2)－－√5．2．26．1．3（2）

3真空度－√√5．36．2

4零部件√－√5．46．3

5絕緣電阻√√√5.56.4

6抗電強(qiáng)度－－√5.66.5

7浪涌（沖擊）抗擾度；－－√5.76.6

8抗電磁干擾；－－√5.86.7

9連續(xù)通電√√√5.96．8

10耐運(yùn)輸顛振－－√5．106．9

11外觀及其它√√√5．116．10

注：“√”為應(yīng)檢項(xiàng)目，“－”為不檢項(xiàng)目

7.2.1真空激光準(zhǔn)直位移測(cè)量裝置應(yīng)由制造廠的質(zhì)量檢驗(yàn)部門按第6章的試驗(yàn)方法進(jìn)行出廠檢驗(yàn)，

檢驗(yàn)項(xiàng)目見表3。

7.2.2經(jīng)質(zhì)量檢驗(yàn)部門檢驗(yàn)合格并附合格證及出廠檢驗(yàn)資料后，方可出廠。

7.2.3合格證內(nèi)容應(yīng)包括：

a）廠商名稱、產(chǎn)品名稱、型號(hào)、規(guī)格及出廠編號(hào)；

b）制造年、月；

c）檢驗(yàn)員、檢驗(yàn)日期。

7.2.4出廠檢驗(yàn)資料至少應(yīng)包括：

a）產(chǎn)品名稱、型號(hào)規(guī)格、出廠編號(hào)；

b）光斑位移測(cè)量范圍、分辨力；

c）準(zhǔn)直線長(zhǎng)度；

d）絕緣電阻；

e）工作電源類型及參數(shù)

f）制造時(shí)間、檢驗(yàn)員標(biāo)識(shí)。

7.3型式檢驗(yàn)

型式檢驗(yàn)按第6章的試驗(yàn)方法進(jìn)行。

7.3.1型式檢驗(yàn)規(guī)定

凡遇下列情況之一，應(yīng)進(jìn)行型式檢驗(yàn)：

a）產(chǎn)品定型鑒定前；

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b）產(chǎn)品在設(shè)計(jì)、工藝、材料上有較大改變時(shí)；

c）停止生產(chǎn)1年以上的產(chǎn)品再次生產(chǎn)時(shí)；

d）正常生產(chǎn)的產(chǎn)品，每5年應(yīng)進(jìn)行一次；

e）出廠檢驗(yàn)結(jié)果與上次型式檢驗(yàn)結(jié)果有較大差異時(shí)；

f）國家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督機(jī)構(gòu)提出進(jìn)行型式檢驗(yàn)要求時(shí)。

7.3.2型式檢驗(yàn)應(yīng)從出廠檢驗(yàn)合格的產(chǎn)品中任意抽取，樣品數(shù)量應(yīng)為該批產(chǎn)品總數(shù)的3％。若總數(shù)少

于3臺(tái)，則應(yīng)全檢。

7.3.3型式檢驗(yàn)項(xiàng)目見表2。

7.3.4判定規(guī)則

型式試驗(yàn)未發(fā)現(xiàn)不合格項(xiàng)，則判定該批產(chǎn)品合格。如發(fā)現(xiàn)有不合格項(xiàng)，則進(jìn)行加倍抽樣，重復(fù)

進(jìn)行型式試驗(yàn)，如未發(fā)現(xiàn)不合格項(xiàng)，仍判定該批產(chǎn)品合格；如第二次抽取的樣品仍存在不合格項(xiàng)，

則判定該批產(chǎn)品不合格。

8標(biāo)志、說明書、包裝、運(yùn)輸、儲(chǔ)存

8.1標(biāo)志

8.1.1產(chǎn)品標(biāo)志

產(chǎn)品銘牌應(yīng)包含以下內(nèi)容：

a）制造廠全稱及商標(biāo)；

b）產(chǎn)品名稱；

c）型號(hào)；

d）出廠編號(hào)。

8.1.2包裝標(biāo)志

產(chǎn)品包裝箱外壁應(yīng)使用防水標(biāo)記，包含以下內(nèi)容：

a）到站、收貨單位和地址；

b）發(fā)站、供貨單位和地址；

c）產(chǎn)品名稱、型號(hào)和數(shù)量；

d）標(biāo)明“精密儀器”、“小心輕放”、“防震”及放置標(biāo)記“↑”標(biāo)識(shí)。

8.1.3產(chǎn)品的包裝儲(chǔ)運(yùn)標(biāo)志和收發(fā)貨標(biāo)志應(yīng)按照GB/T191和GB6388的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

8.2說明書

產(chǎn)品使用說明書應(yīng)參照GB/T9969執(zhí)行。

8.3包裝

真空激光準(zhǔn)直裝置應(yīng)對(duì)激光發(fā)射裝置、激光接收裝置、波帶板起落裝置、波紋管等零部件進(jìn)行

包裝。

8.3.1產(chǎn)品的內(nèi)包裝

a）產(chǎn)品的內(nèi)包裝為入庫包裝，宜用紙盒及隔震泡沫組合包裝；

b）將產(chǎn)品和產(chǎn)品檢驗(yàn)合格證一起進(jìn)行包裝。

8.3.2產(chǎn)品的外包裝

a)產(chǎn)品的外包裝是為出廠運(yùn)輸進(jìn)行的包裝；

b)將已經(jīng)過內(nèi)包裝的產(chǎn)品裝入外包裝箱內(nèi)，安全可靠的封閉外包裝箱；可多臺(tái)裝置組合包裝，

宜采用木箱及隔震泡沫組合包裝。防震、防潮、防塵等包裝防護(hù)按GB/T13384中的有關(guān)規(guī)

定進(jìn)行。

8.3.3產(chǎn)品隨行文件

外包裝箱內(nèi)隨產(chǎn)品提供的技術(shù)文件應(yīng)包括：

a)裝箱清單；

b)使用說明書；

c)產(chǎn)品合格證；

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d)出廠檢驗(yàn)資料；

e)產(chǎn)品技術(shù)條件規(guī)定的其他文件。

隨帶技術(shù)文件應(yīng)裝入塑料袋中并放置在外包裝箱內(nèi)表層。

8.4運(yùn)輸

產(chǎn)品應(yīng)適于陸運(yùn)、空運(yùn)、水運(yùn)(海運(yùn))，運(yùn)輸裝卸按包裝箱的標(biāo)志進(jìn)行操作。

8.5儲(chǔ)存

長(zhǎng)期不用的產(chǎn)品應(yīng)保留原包裝，貯存環(huán)境溫度應(yīng)在-40℃～60℃之間、濕度不大于85％，且貯

存場(chǎng)所應(yīng)無酸、堿、鹽，無有害氣體及煙塵，有防御雨、雪、風(fēng)、沙的措施。

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在運(yùn)輸包裝狀態(tài)下，設(shè)置振動(dòng)系統(tǒng)的掃頻振動(dòng)頻率為10Hz～150Hz～10Hz，掃頻速度為1倍頻

程/min，加速度為2g，對(duì)真空激光準(zhǔn)直裝置激光發(fā)射裝置、激光接收裝置、自動(dòng)化測(cè)控裝置進(jìn)行循

環(huán)3個(gè)周期/單軸振動(dòng)試驗(yàn)。試驗(yàn)后測(cè)試其性能參數(shù)、絕緣性能仍應(yīng)滿足5.2和5.5的要求，且外觀

符合5.11的要求。

5.11外觀及其它

a)全部零部件表面應(yīng)無銹斑，無明顯劃痕，無裂痕及凹陷損傷；

b)全部金屬零部件除不銹金屬材料外，都必須進(jìn)行防銹處理；

c)標(biāo)識(shí)、標(biāo)牌圖案清晰，表面無污染；

d)緊固件應(yīng)無松動(dòng)，位置調(diào)節(jié)螺栓轉(zhuǎn)動(dòng)靈活。

6試驗(yàn)方法

6.1性能參數(shù)檢驗(yàn)

6.1.1主要試驗(yàn)設(shè)備

a)水平位移給進(jìn)設(shè)備；

b)500mm游標(biāo)卡尺，示值誤差≤±0.03mm；

a）真空表（計(jì)）；

b）100V兆歐表；

c)運(yùn)輸顛振試驗(yàn)臺(tái)：最大加速度20g，頻率范圍2Hz～600Hz。

6.1.2試驗(yàn)步驟

試驗(yàn)步驟如下：

a)在正常試驗(yàn)條件下，將真空激光準(zhǔn)直裝置按不少于80m的真空管道長(zhǎng)度及三個(gè)測(cè)點(diǎn)位置安

裝于試驗(yàn)場(chǎng)地，將波帶板或已安裝波帶板的測(cè)點(diǎn)箱固定在水平位移給進(jìn)設(shè)備上。

b)開啟抽真空設(shè)備，抽真空至真空管道內(nèi)的真空度滿足5.3的要求。

c)在真空管道內(nèi)真空度滿足5.3的條件下，從設(shè)定的水平零點(diǎn)位移開始，按激光接收裝置量

程范圍內(nèi)，選取三個(gè)給定值（0，50%F.S，100%F.S），分別記錄測(cè)點(diǎn)給進(jìn)位移和激光接收裝

置測(cè)量位移。

d)按（a）～（c）的步驟至少進(jìn)行3次試驗(yàn)。

6.1.3參數(shù)的確定

a)真空激光準(zhǔn)直裝置水平位移量在往返各次測(cè)回中，測(cè)點(diǎn)兩次位移測(cè)量的偏離值之差應(yīng)符合

5.2.1的規(guī)定。

b)系統(tǒng)綜合誤差

按6.1.2中（d）試驗(yàn)的各次測(cè)值與給定值之差值應(yīng)符合5.2.2的規(guī)定。

6.2真空度的確定

6.2.1測(cè)量真空度

測(cè)量狀態(tài)下，關(guān)閉真空泵，待管道內(nèi)壓力平衡后，讀取真空度值，應(yīng)符合5.3的規(guī)定。

6.2.2保持真空度

測(cè)量狀態(tài)下，關(guān)閉真空泵，等待168h，讀取真空度值，應(yīng)符合5.3的規(guī)定。

6.2.3漏氣率

測(cè)量狀態(tài)下，關(guān)閉真空泵，讀取真空度，等待168h以上，在真空度小于保持真空度狀態(tài)下，

讀取真空度值和等待時(shí)間，計(jì)算漏氣率，應(yīng)符合5.3的規(guī)定。

6.2.4抽真空時(shí)間

從保持真空度抽真空時(shí)，開始計(jì)時(shí)，到抽到測(cè)量真空度為止，結(jié)束計(jì)時(shí)，計(jì)算抽真空時(shí)間

應(yīng)符合5.3的規(guī)定。

6.3零部件試驗(yàn)

6.3.1激光發(fā)射裝置試驗(yàn)

a)激光發(fā)射裝置所選用的激光器的發(fā)散角應(yīng)符合