（莫特肖特基）專題

1、【專題】Mott-Schottky測試及數(shù)據(jù)處理作者: jjfyj 收錄日期: 2010-12-05 發(fā)布日期: 2010-11-28發(fā)現(xiàn)很多蟲友對Mott-schottky技術(shù)提問的很多，但基本上沒有明確的答復(fù)。我對此技術(shù)了解得也很少，本質(zhì)上來說，Mott-schottky屬于固體物理學(xué)的知識。由于本人才疏學(xué)淺，接觸它也僅僅幾天的時間，因此無法對Mott-schottky曲線的分析以及更加高深的部分進(jìn)行解答，萬望諒解。今就如何在上海辰華CHI660B電化學(xué)工作站測試Mott-schottky曲線，以及如何進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，說一下自己的經(jīng)驗(yàn)。不當(dāng)之處祈盼大牛指正，大家共同學(xué)習(xí)提高。作者：jjfyj

2、1、Mott-schottky測試 測試技術(shù)采用Impedance-Potential，如圖所示：接著設(shè)置參數(shù)： 我的理解是，Mott-schottky屬于固定頻率測試阻抗隨電位的變化關(guān)系。yaya2566蟲友（/bbs/viewthread.php?tid=）liaofan33 蟲友（/bbs/viewthread.php?tid=） 均問到參數(shù)的設(shè)置問題。從第二張圖上我們可以看到，需要設(shè)置的參數(shù)分別有初始電位，終止電位，電位增幅，幅值（對應(yīng)于文獻(xiàn)中的交流擾動信號/正弦波交流電信號），頻率等等。 首先，需要自己擬定合適的電位區(qū)間，大

3、家可以去查找自己領(lǐng)域的文獻(xiàn)。電位增幅，我選擇的是很低的，覺得這樣測定出來的數(shù)據(jù)更加準(zhǔn)確，就像極化曲線或CV中掃速越小，曲線越精確一樣，不知這樣理解是否正確，留待大牛斧正。幅值，我覺得與EIS是一樣的，一般選擇5mV或10mV，由于Mott-schottky一般是來研究半導(dǎo)體型的鈍化膜，10mV為宜。頻率的選擇，我們可以選擇不同的頻率做一系列曲線，如果測試頻率的增加使各曲線電容值減小, 表明電容對頻率的依賴，Mott-schottky 曲線隨頻率變化發(fā)生彌散現(xiàn)象（可參考張?jiān)粕彛访纻?，陳志源的鋼筋鈍化膜半導(dǎo)體性能的Mott_Schottky研究和孔德生，李亮的電容測量研究鉻表面氧化膜的半導(dǎo)體性能

4、） 至于直流電偏移一項(xiàng)，CHI660B給出的說明是：When dc current is high and ac current is low, the sensitivity can not be increased because dc current will overflow. This problem is more serious when the frequency is relatively low. By applying dc current bias, it allows higher ac signal amplification. A 16-bit DAC is us

5、ed for this purpose. If dc current is not expected to be large and the frequency is high, one may not want to bias dc current.大家可以自行判斷。 最后一項(xiàng)是靈敏度，說明書給出的解釋是The sensitivity scale setting is automatic by default. During the experiment, the system tests the current size and determines the proper sensitiv

6、ity scale. It usually works well. The sensitivity scale setting can also be manually overridden. In certaincases, it may provide better results.因此我保留的是默認(rèn)值。 中間幾項(xiàng)也采用默認(rèn)數(shù)值。作者：jjfyj二、Mott-schottky曲線的顯示 試驗(yàn)完成后，顯示的圖形為LogZ-E圖，我們可以另起改為Mott-schottky曲線形式顯示。Graphics-Graph option在Data下拉菜單中可以看到有兩個Mott-schottky曲線可供

7、選擇區(qū)別在于電容的不同，一個Cs一個是Cp。下標(biāo)s為series串聯(lián)；p為parallel并聯(lián)jruij 蟲友（/bbs/viewthread.php?tid=）的解釋我認(rèn)為是合理的。作者：jjfyj三、數(shù)據(jù)處理ldy1985蟲友（url/bbs/viewthread.php?tid=）和llaa蟲友(/bbs/viewthread.php?tid=)等問到了一個關(guān)鍵性的問題：convert之后的txt文本打開來，依然只有potential，Zr，Zi，Z和phase數(shù)據(jù)，并沒有C的出現(xiàn)。只能在graph

8、/url option中轉(zhuǎn)換看到。其實(shí)，這就需要進(jìn)行簡單的計(jì)算了，當(dāng)然不必用手工計(jì)算，我們可以在origin里自擬公式加以解決。1、首先，將convert好的txt打開刪除header信息：2、在Origin中導(dǎo)入數(shù)據(jù)選取import single ascii3、刪除數(shù)據(jù)以上的各行假如忽略此步驟，再添加新列進(jìn)行計(jì)算時，會提示1600錯誤4、新增兩列，分別是C和1/C2C列set volume values公式為：1/C2列計(jì)算公式為： Last edited by jjfyj on 2010-12-5 at 09:17 作者：jjfyj5、作圖以E為X軸，1/C2為Y軸作圖即得到Mott-schottky曲線：作者：jjfyj四、判斷半導(dǎo)體類型在Mott-scho