材料表面工程復(fù)習(xí)考試重點終極版

1、第一章 表面技術(shù)的含義： 表面技術(shù)是指通過表面涂覆、表面改性或多種表面技術(shù)復(fù)合處理，改變固體金屬表面或非金屬表面的形態(tài)、化學(xué)成分、組織結(jié)構(gòu)和應(yīng)力狀態(tài)，以獲得所需表面性能。 表面技術(shù)的目的：提高材料抵御環(huán)境作用的能力。賦予材料表面某種功能特性，包括光、電、磁、熱、聲、吸附、分離等各種物理和化學(xué)性能。實施特定的表面加工來制造構(gòu)件、零部件和元器件等。表面技術(shù)的實施方法：1.施加各種覆蓋層 2.表面改性：表面技術(shù)的分類：4種基本類型：原子沉積。 顆粒沉積。 整體覆蓋。 表面改性。廣義表面技術(shù)包括表面技術(shù)的基礎(chǔ)和應(yīng)用理論。表面處理技術(shù)，它又包括表面覆蓋技術(shù)、表面改性技術(shù)和復(fù)合表面處理技術(shù)3部分。表面加工

2、技術(shù)。 表面分析和測試技術(shù)。表面工程技術(shù)設(shè)計。表面技術(shù)的應(yīng)用理論（1）表面失效分析 （2）摩擦與磨損理論（3）表面腐蝕與防護理論 （4）表面結(jié)合與復(fù)合理論表面處理技術(shù)-表面覆蓋技術(shù) 表面改性技術(shù)復(fù)合表面處理技術(shù)表面技術(shù)的應(yīng)用概況一、結(jié)構(gòu)材料應(yīng)用1材料防護主要指材料表面防止化學(xué)腐蝕和電化學(xué)腐蝕的能力。2 提高材料耐磨性 3表面強化 4表面修復(fù) 5表面裝飾 二、功能材料應(yīng)用 三、生活環(huán)境應(yīng)用四、新材料開發(fā)應(yīng)用 1金剛石薄膜 2類金剛石碳膜 3立方氮化硼膜第二章 表面的范圍：金屬為1-3個原子層；半導(dǎo)體4-6層；絕緣體為十至幾十層。表面的分類：1 理想表面2 清潔表面3 實際表面一、理想表面一種理論

3、上的結(jié)構(gòu)完整的二維點陣平面。表面原子排列與晶體內(nèi)部相同。理想表面實際上是不存在的。二、清潔表面 經(jīng)過徹底清洗、烘干、濺射，并進行熱處理后，保存在超高真空（10-12Torr)下的不存在任何污染的化學(xué)純表面，稱為清潔表面。清潔表面結(jié)構(gòu)： 由于表面能的作用，在原子清潔的表面上可以發(fā)生多種與體內(nèi)不同的結(jié)構(gòu)和成分變化。如：表面弛豫，表面重構(gòu)，表面偏析，表面吸附，表面化合物，表面臺階（TLK模型）。三、實際表面 有一定的粗糙度、貝爾比層、殘余應(yīng)力、表面吸附及沾污等。 由于表面特殊的結(jié)構(gòu)和表面能，使得表面有許多與晶體內(nèi)部不同的性質(zhì)。例如，表面吸附、表面潤濕、原子的表面擴散等。二、表面吸附表面吸附按其作用力

4、的性質(zhì)可分為兩類：物理吸附和化學(xué)吸附。在吸附過程中，一些能量較高的吸附分子，可能克服吸附勢的束縛而脫離固體表面，稱為“脫附”或“解吸”。當(dāng)吸附與解吸達到動態(tài)平衡時，固體表面保存著一定數(shù)量的相對穩(wěn)定的吸附分子，這種吸附，稱為平衡吸附。物理吸附的作用力是表面原子與吸附原子之間的范得瓦爾斯力（Vander Waals）。化學(xué)吸附，在吸附劑和吸附物的原子或分子間發(fā)生電子的轉(zhuǎn)移，形成了化學(xué)鍵。如，氧化。 用于判別化學(xué)吸附和物理吸附的另一個判據(jù)是活化能。 物理吸附無需活化能。三、表面潤濕 表面預(yù)處理技術(shù)分類：表面預(yù)處理技術(shù)主要包括機械性清理、脫脂、除銹等幾個部分。表面預(yù)處理技術(shù)主要包括機械性清理

5、、表面清潔（脫脂、除銹）、表面拋光 、噴砂或噴丸 。 一、機械性清理 包括：1）機械磨光和拋光 2）滾光和刷光 第三章 （熱噴涂的定義、目的、質(zhì)量、特點、如何結(jié)合、類型有哪些） 熱噴涂是采用不同的熱源，將噴涂材料加熱至熔融或半熔融狀態(tài)，用高壓氣流將其霧化，并以一定的速度噴射到經(jīng)過預(yù)處理的工件表面，從而形成附著牢固的表面層的加工方法。 熱噴涂用的熱源：氣體或液體燃料、電弧、等離子弧、激光等。 熱噴涂材料：金屬、合金、金屬陶瓷、氧化物、碳化物、塑料或復(fù)合材料。工件材料：金屬、合金、陶瓷、水泥、塑料、石膏、木材、玻璃等幾乎所有固體材料。噴涂層的性能：耐磨、耐蝕

6、、耐熱、抗氧化、潤滑等。噴涂層的厚度：0.5-5mm。應(yīng)用：宇航、國防、機械、冶金、石油、化工、機車車輛、電力等部門。如果將噴涂層再加熱重熔，產(chǎn)生冶金結(jié)合，稱為噴熔。熱噴涂過程：熔化-霧化-噴射-沉積涂層的金相組織：層狀結(jié)構(gòu)，內(nèi)有孔洞。涂層性能：各向異性。重熔處理一、熱噴涂原理3.涂層結(jié)合機理涂層與基體的結(jié)合：結(jié)合力；涂層內(nèi)部的結(jié)合：內(nèi)聚力。涂層與基體的結(jié)合：1）機械結(jié)合 2）冶金-化學(xué)結(jié)合：3）物理結(jié)合： 涂層內(nèi)部的結(jié)合：主要以機械結(jié)合為主。降低殘余應(yīng)力的方法：（1）基體預(yù)熱；（2）基體表面預(yù)處理：吹砂、開溝槽、車螺紋二、熱噴涂的種類和特點1.熱噴涂種類 根據(jù)涂層加熱和結(jié)合方式分：噴涂和噴熔

7、。 根據(jù)加熱噴涂材料的熱源種類分：火焰、電弧、高頻、等離子弧（超音速）、爆炸、激光（噴涂、重熔）、電子束。二、熱噴涂的種類和特點2.熱噴涂特點（1）    適用范圍廣。噴涂材料、工件材料。（2）    工藝靈活。（3）    噴涂厚度可調(diào)。幾微米至幾毫米。（4）  工件受熱影響小。基體變形小、組織、性能變化小。（5）    生產(chǎn)率高。缺點：粉塵、煙霧大、噪聲大。 三、熱噴涂工序1.表面預(yù)處理（1）基體表面的清洗、脫脂：堿性溶液或丙酮、汽油。（2）基體表面氧化膜處理（

8、3）基體表面粗化處理：提高涂層與基體結(jié)合強度（噴砂、機械加工如開槽、車螺紋、滾花等）（4）基體表面預(yù)熱處理：提高涂層與基體結(jié)合強度（5）非噴涂表面的保護2.噴涂（1）噴涂打底層：Mo、Ni-Cr、Ni-Cr-Al等。厚度50-100微米。（2）噴涂工作層。3.激光重熔。四、熱噴涂材料（一）熱噴涂線材：(1)鋅及鋅合金線材， (2)鋁及鋁合金線材 (3)銅及銅合金。 (4)鎳及鎳合金 (5) 不銹鋼絲（二）熱噴涂粉末：金屬粉末、合金粉末、陶瓷粉末、復(fù)合粉末（三）塑料 等離子噴涂的工作氣體：最常用的有氮氣、氬氣，此外，也可用氫氣、氦氣 陰極是電子發(fā)射源，選用熔點高和電子發(fā)射能力強的材料制成，一般采

9、用鎢電極。噴嘴為陽極，通過其孔道對電弧進行壓縮而形成等離子弧。等離子弧是壓縮電弧，按接電的方法不同，等離子弧有三種形式：非轉(zhuǎn)移?。徽龢O接在噴嘴上，工件不帶電；轉(zhuǎn)移?。簢娮觳唤与娫矗ぜ诱龢O； 聯(lián)合弧：噴嘴、工件均接正極。等離子弧和自由電弧相比較，其弧柱細，電流密度大，氣體電離度高，因此具有溫度高、能量集中、弧穩(wěn)定性好等特點。第四章 電鍍是一種表面加工工藝，它是利用電化學(xué)方法將金屬離子還原為金屬，并沉積在金屬或非金屬制品的表面上，形成符合要求的平滑致密的金屬覆蓋層。 電鍍的目的主要有三： 1）賦予制品表面裝飾性外觀； 2）賦予制品表面某種特殊功能，例如提高耐腐蝕性、硬度、耐磨性、導(dǎo)電性、磁性、

10、釬焊性、抗高溫氧化性、減小接觸面的滑動摩擦、防止鋼鐵件熱處理時的滲碳和滲氮等； 3）提供新型材料，例如制備具有高強度的各種金屬基復(fù)合材料，合金、非晶態(tài)材料，納米材料等。 電鍍層的分類(按照鍍層的使用目的來分類) ： 1）防護性鍍層：提高金屬制品的耐腐蝕能力。2）裝飾性鍍層：如仿金鍍層等。3）功能性鍍層：耐磨和減磨鍍層、抗高溫氧化鍍層、導(dǎo)電性鍍層、磁性鍍層、熱處理用鍍層、修復(fù)性鍍層、可焊性鍍層一） 根據(jù)主鹽性質(zhì)的不同，可將電鍍?nèi)芤悍譃楹唵嘻}電鍍?nèi)芤汉徒j(luò)合物電鍍?nèi)芤簝纱箢悺＃ㄒ唬╇婂円航M成1.主鹽：能夠在陰極上沉積出所要求的鍍層金屬的鹽。2.絡(luò)合劑：在溶液中能與金屬離子生成絡(luò)合離子的物質(zhì)稱為絡(luò)合劑

11、。 3.附加鹽（導(dǎo)電鹽）：主要用于提高溶液的電導(dǎo)率。4.緩沖劑：穩(wěn)定電鍍液的酸堿度（PH值）。5.陽極活化劑：提高陽極開始鈍化的電流密度，保證陽極處于活化狀態(tài)。6.添加劑：改善鍍層質(zhì)量。2. 極化 當(dāng)電流通過電極時，電極電位偏離平衡電極電位，稱為極化。（1）電化學(xué)極化（2）濃差極化陽極極化：（1）電化學(xué)極化 由于陽極表面金屬氧化速度小于陽極電子通過導(dǎo)線流向陰極的速度，使得陽極電極電位往正的方向移動，稱為電化學(xué)極化。（2）濃差極化 由于陽極表面的金屬離子向溶液中的擴散速度慢，導(dǎo)致陽極表面金屬離子濃度升高，抑制了陽極表面金屬氧化速度，使得陽極表面金屬氧化速度小于陽極電子通過導(dǎo)線流向陰極的速度，導(dǎo)致

12、陽極電極電位往正的方向移動。 無論電化學(xué)極化，還是濃差極化，都是使陽極電極電位向正方向偏移。陰極極化：（1）電化學(xué)極化 由于陰極表面金屬離子的還原速度小于陰極電子的供給速度，使得陰極電極電位向負(fù)方向偏移，稱為電化學(xué)極化。（2）濃差極化 由于溶液中的金屬離子向陰極表面的擴散速度慢，導(dǎo)致陰極表面金屬離子濃度低，陰極表面金屬離子的還原速度小于陰極電子的供給速度而產(chǎn)生的極化。 無論電化學(xué)極化，還是濃差極化，都是使陰極電極電位向負(fù)方向偏移。 （五）影響電鍍質(zhì)量的因素1. PH值的影響2. 添加劑的影響3電流密度的影響4電流波形的影響5溫度的影響6攪拌的影響二、電鍍金屬（一）鍍鋅 用途：裝飾、耐腐蝕鋅鍍層

13、主要鍍覆在鋼鐵制品的表面，作為防護性鍍層。（二）鍍銅用途：作為其他鍍層的中間層或底層 、作為不滲碳部位的防滲碳層 （三）鍍鎳用途：裝飾、耐腐蝕、耐磨（四）鍍鉻 用途：裝飾、耐腐蝕、耐磨 化學(xué)鍍的概念：化學(xué)鍍是指在沒有外電流通過的情況下，利用還原劑使溶液中的金屬離子還原為金屬原子，并沉積在基體表面，形成鍍層。 化學(xué)鍍與電鍍相比，優(yōu)點：（1）不管零件形狀多么復(fù)雜，鍍層厚度很均勻，鍍層外觀良好，晶粒細小，無孔，耐蝕性好；（2）無需電解設(shè)備及附件；（3）可在金屬、非金屬、半導(dǎo)體材料沉積。缺點：溶液穩(wěn)定性差，使用溫度高，壽命短，增加了溶液維護、調(diào)整、再生的成本?；驹恚弘娝㈠円揽垮児P在工件表面移動形成

14、電鍍層。電刷鍍的鍍液主要有三類：單金屬鍍液、合金鍍液、復(fù)合金屬鍍液。電刷鍍鍍液的特點：大多數(shù)鍍液是金屬絡(luò)合物水溶液，在水中溶解度大，穩(wěn)定性好，可長期保存。鍍液中金屬離子含量高，導(dǎo)電性好；鍍液的分散能力和覆蓋能力好；鍍液無毒、不燃、不爆，腐蝕性小，安全可靠，便于運輸；鍍液有專業(yè)廠家生產(chǎn)，可長期存放。第五章 氣相沉積技術(shù)是利用氣相中發(fā)生的物理、化學(xué)過程，在各種材料或制品表面沉積單層或多層薄膜，從而使材料或制品獲得所需的各種優(yōu)異性能。 物理氣相沉積(PVD):在真空條件下，利用各種物理方法，將鍍料氣化成原子、分子或使其離子化為離子，直接沉積到基體表面上的方法。主要包括真空蒸鍍、濺射鍍膜、離子鍍膜等。

15、化學(xué)氣相沉積(CVD) :把含有構(gòu)成薄膜元素的一種或幾種化合物、單質(zhì)氣體供給基體，借助氣相作用或在基體表面上的化學(xué)反應(yīng)在基體上制得金屬或化合物薄膜的方法。氣相沉積技術(shù)一般可分為兩大類：物理氣相沉積（PVD)和化學(xué)氣相沉積（CVD）。物理氣相沉積主要包括真空蒸鍍、濺射鍍膜、離子鍍膜等。 薄膜生長模式：1）島狀生長；2）層狀生長；3）層狀加島狀生長二、真空的特點和應(yīng)用1.表面保護作用2.表面凈化作用 3.減少氣體分子之間的碰撞次數(shù)。4.真空的絕熱性好。 5.可降低物質(zhì)的沸點或氣化點。真空蒸鍍定義：在10-3-4pa的真空條件下，采用各種熱能轉(zhuǎn)化方式，使鍍膜材料蒸發(fā)為具有一定能量的氣態(tài)粒子（原子、分

16、子或原子團），然后凝聚沉積于工件表面形成膜層的方法。 蒸鍍只用于鍍制對結(jié)合強度要求不高的某些功能膜 蒸鍍用于鍍制合金膜時，在保證合金成分這點上，要比濺射困難得多，但在鍍制純金屬時，蒸鍍可以表現(xiàn)出鍍膜速度快的優(yōu)勢。（一）蒸發(fā)方式及蒸發(fā)源 真空蒸鍍可采用的不同的加熱方法，主要有：電阻加熱法、電子束加熱、高頻感應(yīng)加熱法、激光加熱法。利用氣態(tài)化合物或化合物的混合物在基體材料表面(通常為熱表面)上發(fā)生氣相化學(xué)反應(yīng)，從而在基材表面上形成鍍膜的技術(shù)稱為化學(xué)氣相沉積(CVD)。 CVD法制備薄膜的過程，可以分為下面幾個主要的階段：反應(yīng)氣體擴散至工件表面； 反應(yīng)氣體分子被基材表面吸附； 在基材表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)；

17、 反應(yīng)生成的氣相副產(chǎn)物由基片表面脫離，被真空泵抽掉； 在基片表面留下的固體反應(yīng)產(chǎn)物在基片表面擴散、形核，形成薄膜。濺射鍍膜:在真空室中，利用荷能粒子轟擊材料表面，使其原子獲得足夠的能量而濺出進入氣相，然后在工件表面沉積的過程。(一) 濺射鍍膜的特點（與真空蒸鍍相比）1)濺射出的原子能量高,形成的薄膜結(jié)合好； 2)可用于任何材料的鍍膜；3)膜層厚度均勻； 4)除磁控濺射外，沉積速率低.具體的濺射工藝很多，如二極(直流)濺射、射頻濺射、磁控濺射、反應(yīng)濺射、對向靶濺射、離子束濺射、吸氣濺射等等。離子鍍是結(jié)合蒸發(fā)與濺射兩種薄膜沉積技術(shù)而發(fā)展的一種物理氣相沉積方法。輝光放電是濺射的基礎(chǔ)，輝光放電屬于低氣

18、壓放電影響濺射產(chǎn)額的因素主要有：入射離子與靶有關(guān)與溫度有關(guān)第六章 常用的金屬材料表面形變強化方法主要有噴丸、滾壓和內(nèi)孔擠壓等強化工藝。噴丸強化，即利用高速彈丸強烈沖擊零件表面，使之產(chǎn)生形變硬化層并引進殘余壓應(yīng)力。已廣泛用于彈簧、齒輪、鏈條、鈾、葉片、火車輪等零部件，可顯著提高金屬的抗疲勞，抗應(yīng)力腐蝕破裂、抗腐蝕疲勞、抗微動磨損、耐點蝕等的能力。 噴丸強化原理：1）通過機械手段在金屬表面產(chǎn)生壓縮變形，形成形變硬化層，在此層內(nèi)產(chǎn)生兩種變化：一是亞晶粒極大的細化，位錯密度增高，晶格畸變增大；二是形成了高的宏觀殘余壓應(yīng)力。2）表面粗糙度略有增大，但卻使切削加工的尖銳刀痕圓滑。噴丸強化用的彈丸1) 鑄鐵

19、彈丸 2) 鋼彈丸 3) 玻璃彈丸 表示噴丸強化質(zhì)量的三個參數(shù)：噴丸強度、覆蓋率、表面粗糙度。1）影響噴丸強度的工藝參數(shù)主要有：彈丸直徑、彈流速度、彈丸流量、噴丸時間噴丸后，表面產(chǎn)生大量的凹坑形式的塑形變形，表層位錯密度大大增加，而且還會出現(xiàn)亞晶界和晶粒細化現(xiàn)象。噴丸后工件如果受到交變載荷或溫度的影響，表層組織結(jié)構(gòu)將產(chǎn)生變化，由噴丸引起的不穩(wěn)定結(jié)構(gòu)向穩(wěn)定態(tài)轉(zhuǎn)變，有效提高金屬表面強度，耐應(yīng)力腐蝕和抗疲勞性能。 表面淬火是指采用快速加熱，使鋼件表層奧氏體化并立即快冷獲得馬氏體，而心部仍保持原始組織的一種淬火工藝。 表面淬火的加熱方法有多種，如感應(yīng)加熱、火焰加熱、接觸電阻加熱、電解液加熱，高密度能量

20、加熱表面淬火。其中最常用的是火焰加熱和感應(yīng)加熱兩種。（一）化學(xué)熱處理原理將工件置于含有欲滲元素的活性介質(zhì)中加熱到一定溫度，使活性介質(zhì)分解出欲滲元素的活性原子，活性原子被工件表面吸附并向工件內(nèi)部擴散，以改變工件表層的化學(xué)成分。通常，在工件表層獲得高硬度、耐磨損和高強度的同時，心部仍保持良好的韌性，使被處理工件具有抗沖擊載荷的能力。組織：單相固溶體；化合物。滲層的形成主要依靠加熱擴散的作用，所得滲層與基體金屬之間是靠形成合金來結(jié)合的，即形成冶金結(jié)合，因而結(jié)合非常牢固，滲層不宜脫落。化學(xué)熱處理定義：利用元素擴散性能，是合金元素滲入金屬表層的一種熱處理工藝。目的：1， 提高金屬表面的強度、硬度和耐磨性

21、；2，提高材料疲勞強度；3，使金屬表面具有良好的抗粘著、抗咬合的能力和降低摩擦系數(shù)；4，提高金屬表面的耐蝕性。滲層形成基本過程活性原子的供給?；钚栽釉诨w金屬表面上吸附，并被基體金屬吸收。已溶入的滲劑原子在滲鍍的高溫下向基體金屬內(nèi)部擴散。影響擴散速度的參數(shù)主要有兩個，即擴散系數(shù)和濃度梯度溫度晶體結(jié)構(gòu)晶體缺陷 基體合金成分滲劑金屬原子濃度的影響根據(jù)滲入元素的介質(zhì)所處狀態(tài)的不同，金屬表面化學(xué)熱處理可分為:固體滲（粉末滲）、液體滲（鹽浴法）、氣體滲、等離子滲滲硼層組織：FeBFe2B擴散層心部組織滲硼層性能（1）高硬度和高耐磨性 （2）高的熱硬性 （3）良好的高溫抗氧化性能及抗蝕性 （4）脆性 滲

22、硼層硬度很高，但脆性較大。滲碳目的是在低碳鋼或低碳合金鋼零件的表面得到高的含碳量（高于0.8%)。其后經(jīng)淬火、低溫回火得到高的硬度和耐磨性的滲碳層，而零件的內(nèi)部具有高的強韌性。但缺點是處理溫度高（900左右），工件畸變大。滲碳層深度一般為0.7-1.5mm、碳的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為0.7-0.9。滲碳層組織特點；由表及里：網(wǎng)狀碳化物+珠光體-珠光體-珠光體+鐵素體-珠光體減少，鐵素體增多。 滲碳層不允許出現(xiàn)過多的網(wǎng)狀碳化物，防止?jié)B碳層和零件變脆。只要控制滲碳介質(zhì)的活性或碳勢（鋼表面的含碳量），就可以加以控制。 組織：表面(層)為高碳回火馬氏體組織、心部為低碳回火馬氏體組織。按照滲碳介質(zhì)的狀態(tài)，滲碳方法分

23、為：氣體滲、液體滲、固體滲。滲氮（又稱氮化），是使氮原子向金屬工件表層擴散的化學(xué)熱處理工藝。鋼鐵滲氮后，可形成以氮化物為主的表層。當(dāng)鋼中含有鉻、鋁、鉬等氮化物時，可獲得比滲碳層更高的硬度、更高的耐磨、耐蝕和抗疲勞性能。氣體滲氮是把工件放入密封容器中，通以流動的氨氣并加熱，保溫較長時間后，氨氣熱分解產(chǎn)生活性氮原子,不斷吸附到工件表面，并擴散滲入工件表層內(nèi)，形成滲氮層。 (2NH3=2N+3H2)離子氮化層通常可能出現(xiàn)以下三種典型組織：(1)只有擴散層；(2) 化合物層+擴散層；(3) + 復(fù)相化合物層+擴散層相是以Fe2-3N為基的固溶體，氮濃度范圍很寬相是以Fe4N為基的固溶體，氮濃度范圍比較

24、窄，純擴散層為氮原子在-Fe中的固溶體組織碳氮共滲和氮碳共滲是在金屬工件表層同時滲入碳、氮兩種元素的化學(xué)熱處理工藝。前者以滲碳為主，與滲碳相比，共滲件淬冷的畸變小，耐磨和耐蝕性高，抗疲勞性能優(yōu)于滲碳。后者則以滲氮為主，它的主要特點是滲速較快，生產(chǎn)周期短，表面脆性小且對工件材質(zhì)的要求不嚴(yán)，不足之處是工件滲層較薄，不宜在高載荷下工作。固體粉末滲劑的組成 ： 1）金屬合金粉末 2）填充劑(又稱分散劑) 3）活化劑離子化學(xué)熱處理是最為先進的化學(xué)熱處理技術(shù)。該技術(shù)是將工件置于低壓容器內(nèi)，利用低壓氣體放電將氣體電離，在電場作用下，帶電離子轟擊工件表面，使其溫度升高，利用熱擴散實現(xiàn)原子滲的一種化學(xué)熱處理方法。產(chǎn)生等離子體的方法主要著重點是使中性粒子電離：(1) 利用電子碰撞法(2) 利用粒子熱運動法 (3) 利用電磁波能量 (4) 利用高能粒子的方法按照產(chǎn)生的形式，等離子體可以分為：(1) 天然等離子體(2) 人工等離子體離子氮化是在密閉的真空爐內(nèi)，將清洗后的被滲工件放置在陰極盤上。將真空爐抽真空至一定的真空度后，充入一定流量的含氮氣體，并將氣壓保持在1.33×1021.33×103Pa左右，在陰極（工件）和陽極（真空室殼）之間施加直流電壓，將含氮氣體