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文檔簡介
1、 (1)定比傳動機構(gòu))定比傳動機構(gòu) (2)變速機構(gòu))變速機構(gòu) (3)換向機構(gòu))換向機構(gòu) (4)操縱機構(gòu))操縱機構(gòu) (5)箱體及其他裝置)箱體及其他裝置 動力元件動力元件泵;泵; 執(zhí)行機構(gòu)執(zhí)行機構(gòu)缸、馬達;缸、馬達; 控制元件控制元件閥;閥; 輔助裝置輔助裝置箱、管、表;箱、管、表; 工作介質(zhì)。工作介質(zhì)。TNA400車銑中心車銑中心CHD6126車銑中心車銑中心CHD6163車銑中心車銑中心TNA300車銑中心車銑中心 孔是零件的基本表面之一孔是零件的基本表面之一, ,孔加工方式很孔加工方式很多多, ,鉆孔、鏜孔、擴孔、鉸孔、拉孔、磨孔等鉆孔、鏜孔、擴孔、鉸孔、拉孔、磨孔等等。等。 鉆孔最基本;
2、鉆孔定義:鉆孔最基本;鉆孔定義: 常用鉆床有常用鉆床有: :臺床、立式鉆床和搖臂鉆床。臺床、立式鉆床和搖臂鉆床。(1 1) (a a)容易引偏:含軸線歪斜和孔徑擴大、孔徑)容易引偏:含軸線歪斜和孔徑擴大、孔徑不圓。不圓。 引偏原因:引偏原因:因麻花鉆本身:細又長;鉆心細;接觸差;負前角。因麻花鉆本身:細又長;鉆心細;接觸差;負前角。軸向力大,易彎曲;軸向力大,易彎曲;刃磨不對稱。刃磨不對稱。防防“引偏引偏”的措施:的措施:預(yù)鉆定心坑;預(yù)鉆定心坑;鉆套導(dǎo)向好;鉆套導(dǎo)向好;努力對稱磨。努力對稱磨。(b b)排屑困難)排屑困難 塞屑、劃傷孔壁、卡鉆頭、扭斷鉆頭塞屑、劃傷孔壁、卡鉆頭、扭斷鉆頭 改進措
3、施改進措施: :鉆深孔時,反復(fù)退刀排屑;修磨分屑鉆深孔時,反復(fù)退刀排屑;修磨分屑槽。槽。(c c)切削熱不易散)切削熱不易散 鉆孔為孔的粗加工、預(yù)加工,效率低,但應(yīng)用廣。鉆孔為孔的粗加工、預(yù)加工,效率低,但應(yīng)用廣。 為保質(zhì)又保量,批量生產(chǎn)可以應(yīng)用鉆模、多軸鉆為保質(zhì)又保量,批量生產(chǎn)可以應(yīng)用鉆模、多軸鉆或組合機床?;蚪M合機床。 (1 1)擴孔)擴孔 用擴孔工具擴大工件孔徑的加工。用擴孔工具擴大工件孔徑的加工。 擴孔的特點,可由擴孔鉆結(jié)構(gòu)特點看到擴孔的特點,可由擴孔鉆結(jié)構(gòu)特點看到: 沒有橫刃麻煩少;沒有橫刃麻煩少; 容屑槽淺剛度好;容屑槽淺剛度好; 齒多棱多切削穩(wěn);齒多棱多切削穩(wěn); 大孔二鉆效率高;
4、大孔二鉆效率高; 先鉆后擴更是好。先鉆后擴更是好。(2 2)鉸孔)鉸孔 相對擴孔鉸孔有優(yōu)點:校準孔徑,修光相對擴孔鉸孔有優(yōu)點:校準孔徑,修光壁;低速力小質(zhì)量高。壁;低速力小質(zhì)量高。 典型工藝典型工藝。(3 3)锪孔和锪凸臺)锪孔和锪凸臺 鏜孔可在車床、鏜床等多種機床上進行;本節(jié)主鏜孔可在車床、鏜床等多種機床上進行;本節(jié)主要介紹鏜床鏜孔要介紹鏜床鏜孔。 (1 1)單刃鏜刀鏜孔)單刃鏜刀鏜孔 適應(yīng)廣泛又靈活,粗精孔徑無限制適應(yīng)廣泛又靈活,粗精孔徑無限制 糾正軸歪與位偏,擴孔鉸孔只等閑;糾正軸歪與位偏,擴孔鉸孔只等閑; 單刀獨鏜力有限,保了精度效率低。單刀獨鏜力有限,保了精度效率低。1 1)刨削的工
5、藝特點)刨削的工藝特點 刨削適合加工:平面、溝槽、成形面等;刨削適合加工:平面、溝槽、成形面等; 常見刨床有:牛頭刨床、龍門刨床、插床等。常見刨床有:牛頭刨床、龍門刨床、插床等。 (1 1)刨削的工藝特點)刨削的工藝特點 設(shè)備工具通用好;設(shè)備工具通用好; 生產(chǎn)效率比較低;生產(chǎn)效率比較低; 原因:直線往復(fù)速度低;刃長有限刨削慢;返原因:直線往復(fù)速度低;刃長有限刨削慢;返程悠閑更急人。程悠閑更急人。 窄長表面、多刨刀加工比銑削效率高。窄長表面、多刨刀加工比銑削效率高。 (2 2)刨削的應(yīng)用)刨削的應(yīng)用 刨削多用于:單件、小批生產(chǎn)或維修與模具加刨削多用于:單件、小批生產(chǎn)或維修與模具加工中。工中。(3
6、 3)插削簡介)插削簡介 插床,又稱立式牛頭刨床;主要用于加工工件插床,又稱立式牛頭刨床;主要用于加工工件的內(nèi)表面,如長孔、方孔、多邊形孔和孔內(nèi)鍵槽、花的內(nèi)表面,如長孔、方孔、多邊形孔和孔內(nèi)鍵槽、花鍵槽等,還可加工各種外表面。鍵槽等,還可加工各種外表面。 多刀齊刨是拉削。多刀齊刨是拉削。拉削特點:拉削特點: 一刀能完活;效率真是高;加工質(zhì)量好;平穩(wěn)光一刀能完活;效率真是高;加工質(zhì)量好;平穩(wěn)光潔又準確;拉床、操作都簡單;拉刀成本確實高;活潔又準確;拉床、操作都簡單;拉刀成本確實高;活多能攤平;加工范圍廣;盲、深、臺孔拒。多能攤平;加工范圍廣;盲、深、臺孔拒。 銑削是平面加工的基本方法銑削是平面加
7、工的基本方法, ,常用銑床有:升降常用銑床有:升降臺臥式銑床、立式銑床、雙端面銑床等。臺臥式銑床、立式銑床、雙端面銑床等。 雙端面銑床 龍門銑床1 1)銑削的工藝特點)銑削的工藝特點 生產(chǎn)率較高生產(chǎn)率較高多齒多齒高速銑;高速銑; 易產(chǎn)生振動易產(chǎn)生振動銑削銑削力變化;力變化; 刀齒散熱好刀齒散熱好沖擊沖擊損害重。損害重。2 2)銑削的應(yīng)用)銑削的應(yīng)用 銑削的主要工作如銑削的主要工作如圖所示圖所示, ,有平面、臺階、有平面、臺階、溝槽、成形面、齒面加溝槽、成形面、齒面加工及切斷工及切斷, ,還可以加工還可以加工孔。孔。3 3)銑削方式)銑削方式 加工平面,可以用周銑法;也可用端銑法。加工平面,可以
8、用周銑法;也可用端銑法。 (1 1)周銑法)周銑法 用圓柱銑刀的圓周刀齒加工平面,周銑可進一步用圓柱銑刀的圓周刀齒加工平面,周銑可進一步分為:順銑和逆銑。分為:順銑和逆銑。 在切削部位刀齒的旋轉(zhuǎn)方向和工件的進給方向相在切削部位刀齒的旋轉(zhuǎn)方向和工件的進給方向相反時,為逆銑;相同時,為順銑。反時,為逆銑;相同時,為順銑。 逆銑特點:切屑厚度由薄到厚;切初擠滑刀損加逆銑特點:切屑厚度由薄到厚;切初擠滑刀損加劇;銑削力消除臺竄動。??;銑削力消除臺竄動。 順銑特點:銑屑開始厚,銑刀能耐用;銑力壓工順銑特點:銑屑開始厚,銑刀能耐用;銑力壓工件,穩(wěn)定少振動;機臺有竄動,適合精加工。件,穩(wěn)定少振動;機臺有竄動
9、,適合精加工。 順銑順銑 逆銑逆銑(2 2)端銑)端銑 用端銑刀的端面刀齒加工平面用端銑刀的端面刀齒加工平面 。 端銑法銑平面,由于端銑刀刀桿伸出較短,剛端銑法銑平面,由于端銑刀刀桿伸出較短,剛性好,同時參與切削的刀齒較多,切削力波動小,銑性好,同時參與切削的刀齒較多,切削力波動小,銑削中振動小。因而可用較大的切削量銑平面,提高了削中振動小。因而可用較大的切削量銑平面,提高了生產(chǎn)效率。生產(chǎn)效率。 磨削涵義:用磨具以較高的線速度對工件表面進磨削涵義:用磨具以較高的線速度對工件表面進行加工的方法。磨床種類很多,有:外圓磨行加工的方法。磨床種類很多,有:外圓磨, , 內(nèi)圓磨內(nèi)圓磨, , 平面磨床等。
10、平面磨床等。 1 1)磨削工具)磨削工具 是由磨粒組成的是由磨粒組成的, ,其種類很多其種類很多, ,有:砂輪、油石、砂有:砂輪、油石、砂瓦、砂布、砂紙、砂帶和研磨膏等。瓦、砂布、砂紙、砂帶和研磨膏等。 砂輪最具代表砂輪最具代表, ,砂輪的性能由磨料、磨粒的種類和砂輪的性能由磨料、磨粒的種類和大小、結(jié)合劑的種類、硬度及組織等參數(shù)決定。大小、結(jié)合劑的種類、硬度及組織等參數(shù)決定。 常用的磨料有氧化物系(剛玉)、碳化物系(碳化常用的磨料有氧化物系(剛玉)、碳化物系(碳化硅)、高硬磨料系(金剛石、立方氮化硼硅)、高硬磨料系(金剛石、立方氮化硼 )三大類。)三大類。 粒度表示磨料顆粒的大小,粒度用篩選法
11、分級,粒度表示磨料顆粒的大小,粒度用篩選法分級,以每英寸篩網(wǎng)長度上篩孔的數(shù)目表示。以每英寸篩網(wǎng)長度上篩孔的數(shù)目表示。 結(jié)合劑是將磨粒固結(jié)在一起,使之具有一定的形結(jié)合劑是將磨粒固結(jié)在一起,使之具有一定的形狀和強度,便于有效的進行磨削工作。決定了砂輪的狀和強度,便于有效的進行磨削工作。決定了砂輪的強度、耐沖擊性、耐腐蝕性和耐熱性。強度、耐沖擊性、耐腐蝕性和耐熱性。 硬度是指砂輪表面上的磨粒在磨削力的作用下脫硬度是指砂輪表面上的磨粒在磨削力的作用下脫落的難易程度。硬度高,不易脫落。落的難易程度。硬度高,不易脫落。 砂輪的組織指磨粒和結(jié)合劑的疏密程度砂輪的組織指磨粒和結(jié)合劑的疏密程度, ,反映了反映了
12、磨粒、結(jié)合劑、氣體三者之間的比例關(guān)系。磨粒越多,磨粒、結(jié)合劑、氣體三者之間的比例關(guān)系。磨粒越多,孔隙越小,組織越緊密,易于精加工??紫对叫。M織越緊密,易于精加工。自銳性脫落露新破碎生新自銳性脫落露新破碎生新但:失去微刃等高性;損壞形狀準確性。但:失去微刃等高性;損壞形狀準確性。(4 4)磨削溫度比較高)磨削溫度比較高 會:會: 燒傷工件;燒傷工件; 軟化磨屑,堵塞砂輪軟化磨屑,堵塞砂輪 足量冷卻液沖洗。足量冷卻液沖洗。(5 5)冷硬程度大,能量消耗大)冷硬程度大,能量消耗大 在機械制造工業(yè)中,帶有螺紋的零件在機械制造工業(yè)中,帶有螺紋的零件以及齒輪的應(yīng)用非常廣泛。這些零件有以及齒輪的應(yīng)用非常廣
13、泛。這些零件有特定的加工方法。特定的加工方法。 1 1)攻絲與套扣)攻絲與套扣 攻絲指加工內(nèi)螺紋;套扣是加工外螺紋。攻絲指加工內(nèi)螺紋;套扣是加工外螺紋。 一般指螺紋直徑小于一般指螺紋直徑小于16mm16mm的情況,可用手工操作,的情況,可用手工操作,或機床?;驒C床。2 2)車螺紋)車螺紋 在車床上加工螺紋主要是指用車刀車削各種螺紋,在車床上加工螺紋主要是指用車刀車削各種螺紋,(對于直徑較小螺紋,也可在車床上先車出大徑或中(對于直徑較小螺紋,也可在車床上先車出大徑或中徑,再用板牙或絲錐套攻螺紋)。徑,再用板牙或絲錐套攻螺紋)。 在車床上加工螺紋特點是設(shè)備通用、刀具簡單,適在車床上加工螺紋特點是設(shè)
14、備通用、刀具簡單,適應(yīng)性廣但效率低下,主要適宜單件小批,沒有淬硬件。應(yīng)性廣但效率低下,主要適宜單件小批,沒有淬硬件。 作為成形加工,在車床上也可以使用成形刀具,如作為成形加工,在車床上也可以使用成形刀具,如螺紋梳刀。螺紋梳刀。 3 3)銑螺紋)銑螺紋 又分又分: :盤形銑刀銑螺紋與梳形銑刀銑螺紋。盤形銑刀銑螺紋與梳形銑刀銑螺紋。4 4)磨螺紋)磨螺紋 又分又分: :單線砂輪磨螺紋與多線砂輪磨螺紋單線砂輪磨螺紋與多線砂輪磨螺紋 齒輪加工可分為輪坯加工和齒面加工,齒輪輪坯齒輪加工可分為輪坯加工和齒面加工,齒輪輪坯屬盤類零件,多由車削完成。齒面加工按加工原理分屬盤類零件,多由車削完成。齒面加工按加工
15、原理分為成形法和展成法兩種。為成形法和展成法兩種。 1 1)成形法)成形法 成形法主要指銑齒,銑齒是用與被切齒輪輪齒槽成形法主要指銑齒,銑齒是用與被切齒輪輪齒槽形狀相當接近的銑刀加工齒輪或齒條等的齒面過程。形狀相當接近的銑刀加工齒輪或齒條等的齒面過程。 成形法銑齒特點:成形法銑齒特點: 不需專用設(shè)備,刀具成本低;不需專用設(shè)備,刀具成本低; 每銑一齒分一次度,效率低,誤差大;每銑一齒分一次度,效率低,誤差大; 適用修配或單件生產(chǎn)中低速和精度要求不高的適用修配或單件生產(chǎn)中低速和精度要求不高的齒輪。齒輪。 利用齒輪刀具與被切齒輪的嚙合運動而切出齒輪利用齒輪刀具與被切齒輪的嚙合運動而切出齒輪齒面的加工
16、稱展成法。齒面的加工稱展成法。 滾齒和插齒都屬于此法。滾齒和插齒都屬于此法。 滾齒滾齒 用齒輪滾刀按展成法加工齒輪、蝸輪等齒面為滾用齒輪滾刀按展成法加工齒輪、蝸輪等齒面為滾齒。齒。 滾刀的形狀與蝸桿相似,但要在垂直于螺旋線的滾刀的形狀與蝸桿相似,但要在垂直于螺旋線的方向上開出若干個槽,形成刀齒磨出切削刃方向上開出若干個槽,形成刀齒磨出切削刃, ,這一排排這一排排的刀齒如齒條的齒形,因此滾齒可被看作是強制齒輪的刀齒如齒條的齒形,因此滾齒可被看作是強制齒輪坯與齒條保持嚙合運動的關(guān)系。坯與齒條保持嚙合運動的關(guān)系。滾齒機加工齒面有三種運動滾齒機加工齒面有三種運動 主運動主運動 滾刀的旋轉(zhuǎn);滾刀的旋轉(zhuǎn);
17、 分齒運動分齒運動 滾刀與被切齒輪保持著滾刀與被切齒輪保持著齒條齒輪的嚙合關(guān)系。齒條齒輪的嚙合關(guān)系。 垂直進給運動垂直進給運動 滾刀沿輪坯軸線進給滾刀沿輪坯軸線進給, ,以逐漸切出整個齒寬。以逐漸切出整個齒寬。 除用于加工直齒圓柱齒輪外,還可以加工斜齒除用于加工直齒圓柱齒輪外,還可以加工斜齒 輪、蝸輪和鏈輪。輪、蝸輪和鏈輪。 滾齒加工的齒面精度可達滾齒加工的齒面精度可達IT8IT7級,表面粗糙度級,表面粗糙度Ra值可達值可達3.21.6m。(2 2)插齒)插齒 插齒是指用插齒刀按展成法或成形法加工內(nèi)、外插齒是指用插齒刀按展成法或成形法加工內(nèi)、外齒輪或齒條的齒面。齒輪或齒條的齒面。 插齒刀形狀類
18、似圓柱齒輪,只是將輪齒都磨制成插齒刀形狀類似圓柱齒輪,只是將輪齒都磨制成有前角、后角的切削刃。這特制的有前角、后角的切削刃。這特制的“齒輪齒輪”就是插齒就是插齒刀。刀。 當插齒刀與相嚙合的齒輪坯之間保持一定相對轉(zhuǎn)當插齒刀與相嚙合的齒輪坯之間保持一定相對轉(zhuǎn)動關(guān)系的同時,插齒刀作上下往復(fù)運動。動關(guān)系的同時,插齒刀作上下往復(fù)運動。插齒加工的運動形式有插齒加工的運動形式有 主運動主運動 插齒刀的上下往復(fù)直線運動;插齒刀的上下往復(fù)直線運動; 分齒運動分齒運動 插齒刀和齒輪坯之間保持一對齒輪的嚙合關(guān)系。插齒刀和齒輪坯之間保持一對齒輪的嚙合關(guān)系。 圓周進給運動圓周進給運動 插齒刀每往復(fù)一次在自身分度圓上所轉(zhuǎn)
19、過的弧長。插齒刀每往復(fù)一次在自身分度圓上所轉(zhuǎn)過的弧長。 徑向進給運動徑向進給運動 插齒刀向工件徑向進給以切出全齒深的運動。插齒刀向工件徑向進給以切出全齒深的運動。 讓刀運動讓刀運動 為了防止插齒刀在返回行程時和已切齒面的摩擦,為了防止插齒刀在返回行程時和已切齒面的摩擦,工作臺帶著工件所作的退讓和復(fù)位的進徑向往復(fù)移動。工作臺帶著工件所作的退讓和復(fù)位的進徑向往復(fù)移動。 插齒加工精度、表面粗糙度與滾齒相近。插齒加工插齒加工精度、表面粗糙度與滾齒相近。插齒加工中小模數(shù)的齒輪,特別是加工寬度小的齒輪時,效率高。中小模數(shù)的齒輪,特別是加工寬度小的齒輪時,效率高。 而且,插齒加工可以加工滾齒無法加工的內(nèi)齒輪
20、及而且,插齒加工可以加工滾齒無法加工的內(nèi)齒輪及雙聯(lián)齒輪或多聯(lián)齒輪。雙聯(lián)齒輪或多聯(lián)齒輪。 相對于銑齒加工,滾、插齒加工相對于銑齒加工,滾、插齒加工“一個模數(shù)一把一個模數(shù)一把刀刀”;其加工精度和生產(chǎn)效率都比銑齒高,屬中等精度;其加工精度和生產(chǎn)效率都比銑齒高,屬中等精度的齒面加工,應(yīng)用廣泛。的齒面加工,應(yīng)用廣泛。 對于高精度的齒輪,經(jīng)滾齒或插齒后,還可以進行對于高精度的齒輪,經(jīng)滾齒或插齒后,還可以進行精整加工以進一步提高齒輪的精度,常用的精加工方法精整加工以進一步提高齒輪的精度,常用的精加工方法有:剃齒、珩齒、磨齒和研齒等。有:剃齒、珩齒、磨齒和研齒等。1 1、工件的安裝、工件的安裝 安裝正確與否直
21、接影響加工精度;安裝正確與否直接影響加工精度; 安裝是否方便,快捷又直接影響生產(chǎn)效率安裝是否方便,快捷又直接影響生產(chǎn)效率 1 1)直接安裝法)直接安裝法 應(yīng)用通用夾具應(yīng)用通用夾具,(,(如三爪、四爪卡盤等如三爪、四爪卡盤等) )效率低效率低, ,精度差精度差, ,適宜單件小批生產(chǎn)。適宜單件小批生產(chǎn)。 2 2)專用夾具安裝法)專用夾具安裝法 為某個工件專門設(shè)計和制作的夾具,無需進行找正,為某個工件專門設(shè)計和制作的夾具,無需進行找正,便可正確快捷的安裝到位并夾緊。由于專制、專用便可正確快捷的安裝到位并夾緊。由于專制、專用, ,適宜適宜批量生產(chǎn),如圖示的鏜模。批量生產(chǎn),如圖示的鏜模。1 1)夾具的種
22、類)夾具的種類 按用途分類有:通用夾具;專用夾具。按用途分類有:通用夾具;專用夾具。2 2)夾具的主要組成部分(鉆模為例)夾具的主要組成部分(鉆模為例) 定位元件定位元件 夾具上用來確定工件正確位置的零件。夾具上用來確定工件正確位置的零件。 V V形塊、擋鐵、支承釘、支承板及心軸和定位銷等。形塊、擋鐵、支承釘、支承板及心軸和定位銷等。 夾緊機構(gòu)夾緊機構(gòu) 夾緊工件以承受切削力作用的機構(gòu)。夾緊工件以承受切削力作用的機構(gòu)。 有:壓板、偏心機構(gòu)、液壓及電磁機構(gòu)。有:壓板、偏心機構(gòu)、液壓及電磁機構(gòu)。 導(dǎo)向元件導(dǎo)向元件 用來對刀和引導(dǎo)刀具進入正確位置的零件用來對刀和引導(dǎo)刀具進入正確位置的零件 有:導(dǎo)向套、
23、對刀塊等。有:導(dǎo)向套、對刀塊等。 夾具體和其他部分:夾具體。夾具體和其他部分:夾具體。 零件結(jié)構(gòu)設(shè)計首先要滿足使用要求,而零件結(jié)構(gòu)的零件結(jié)構(gòu)設(shè)計首先要滿足使用要求,而零件結(jié)構(gòu)的工藝性直接影響產(chǎn)品的經(jīng)濟性。工藝性直接影響產(chǎn)品的經(jīng)濟性。 要使零件具有良好的結(jié)構(gòu)工藝性,應(yīng)考慮的問題有:要使零件具有良好的結(jié)構(gòu)工藝性,應(yīng)考慮的問題有: 1.1.必須滿足使用要求,是目的、是前提。必須滿足使用要求,是目的、是前提。 2.2.鑄鍛焊切綜合考慮,分主次,講全面。鑄鍛焊切綜合考慮,分主次,講全面。 3.3.結(jié)合生產(chǎn)條件,根據(jù)經(jīng)驗,講工藝性。結(jié)合生產(chǎn)條件,根據(jù)經(jīng)驗,講工藝性。 4.4.科技發(fā)展,工藝進步,結(jié)構(gòu)工藝也
24、變。科技發(fā)展,工藝進步,結(jié)構(gòu)工藝也變。一般原則:一般原則:便于裝夾;便于裝夾;便于加工;便于加工;便于測量。便于測量。 近年來隨著科技的進步和生產(chǎn)的發(fā)展,出現(xiàn)的許多近年來隨著科技的進步和生產(chǎn)的發(fā)展,出現(xiàn)的許多由堅硬而又難加工材料制成的,具有精密公差尺寸和低由堅硬而又難加工材料制成的,具有精密公差尺寸和低表面粗糙度的復(fù)雜零件的加工,許多新的加工方法應(yīng)運表面粗糙度的復(fù)雜零件的加工,許多新的加工方法應(yīng)運而生。這些方法本章指精密加工和而生。這些方法本章指精密加工和“現(xiàn)代加工方法現(xiàn)代加工方法”或或“特種加工工藝特種加工工藝”。 精整加工是生產(chǎn)中常用的精密加工,它是指在精加精整加工是生產(chǎn)中常用的精密加工,
25、它是指在精加工之后從工件上切除很薄的材料層工之后從工件上切除很薄的材料層, ,以提高工件精度和減以提高工件精度和減少表面粗糙度值為目的的加工方法少表面粗糙度值為目的的加工方法, ,如研磨、珩磨等。如研磨、珩磨等。 光整加工是指不切除或從工件上切除極薄材料層,光整加工是指不切除或從工件上切除極薄材料層,以降低表面粗糙度為目的的加工方法,如超精加工、拋以降低表面粗糙度為目的的加工方法,如超精加工、拋光等。光等。 研磨是用研磨工具和研磨劑,從工件上研去一層極研磨是用研磨工具和研磨劑,從工件上研去一層極薄表面層的精加工方法。采用不同的研磨工具薄表面層的精加工方法。采用不同的研磨工具( (如研磨心如研磨
26、心棒、研磨套、研磨平板等棒、研磨套、研磨平板等) )可對內(nèi)圓、外圓和平面等進行可對內(nèi)圓、外圓和平面等進行研磨。研磨。 研磨時先在工具表面涂上一層均勻的研磨劑研磨時先在工具表面涂上一層均勻的研磨劑, ,將該工將該工具套在工件上具套在工件上, ,并調(diào)節(jié)好配合的松緊程度并調(diào)節(jié)好配合的松緊程度, ,然后讓工件旋然后讓工件旋轉(zhuǎn),手持研磨工具在軸向來回移動,直至達到研磨的要轉(zhuǎn),手持研磨工具在軸向來回移動,直至達到研磨的要求為止求為止 。 研磨劑是很細的磨料研磨劑是很細的磨料( (粒度為粒度為W14W14W15)W15)、研磨液和、研磨液和輔助材料的混合劑。輔助材料的混合劑。 常用的有液態(tài)研磨劑、研磨膏和固
27、體研磨劑(研磨常用的有液態(tài)研磨劑、研磨膏和固體研磨劑(研磨皂)三種。主要起研磨、吸附、冷卻和潤滑等作用。皂)三種。主要起研磨、吸附、冷卻和潤滑等作用。 研磨外圓的工具研磨外圓的工具 1-1-夾套;夾套;2-2-研磨套;研磨套;3-3-調(diào)節(jié)螺釘;調(diào)節(jié)螺釘;4-4-手柄手柄。 研磨的特點與應(yīng)用:研磨的特點與應(yīng)用: (1 1)精度高質(zhì)量好)精度高質(zhì)量好 經(jīng)研磨后的工件表面經(jīng)研磨后的工件表面, ,尺寸精度可達尺寸精度可達IT4IT4IT1IT1級;級; 表面粗糙度值可減小到表面粗糙度值可減小到0.10.006m0.10.006m。形狀精度亦可相。形狀精度亦可相應(yīng)提高。應(yīng)提高。 (2 2)生產(chǎn)效率低,加
28、工余量小。)生產(chǎn)效率低,加工余量小。 (3 3)研磨劑易飛濺,污染環(huán)境。)研磨劑易飛濺,污染環(huán)境。 在現(xiàn)代制造業(yè)中研磨應(yīng)用很廣,許多精密量塊、量在現(xiàn)代制造業(yè)中研磨應(yīng)用很廣,許多精密量塊、量規(guī)、齒輪、鋼球、噴油嘴、石英晶體、陶瓷元件、光學規(guī)、齒輪、鋼球、噴油嘴、石英晶體、陶瓷元件、光學鏡頭及棱鏡等零件均需研磨。鏡頭及棱鏡等零件均需研磨。 利用珩磨工具對工件表面施加一定壓力,珩磨工具利用珩磨工具對工件表面施加一定壓力,珩磨工具同時作往復(fù)振動、相對旋轉(zhuǎn)和直線往復(fù)運動,切除工件同時作往復(fù)振動、相對旋轉(zhuǎn)和直線往復(fù)運動,切除工件上極小余量的工件精加工方法。上極小余量的工件精加工方法。 特點與應(yīng)用:特點與應(yīng)
29、用: 一般珩磨后可將工件的形狀和尺寸精度提高一級,一般珩磨后可將工件的形狀和尺寸精度提高一級,表面粗糙度表面粗糙度RaRa值可達值可達0.20.20.025m0.025m。珩磨加工的工件表。珩磨加工的工件表面質(zhì)量特性好、加工精度和加工效率高,加工應(yīng)用范圍面質(zhì)量特性好、加工精度和加工效率高,加工應(yīng)用范圍廣、經(jīng)濟性好。廣、經(jīng)濟性好。 珩磨頭及珩磨油石的切削軌跡珩磨頭及珩磨油石的切削軌跡 1-1-工件;工件;2-2-磨條;磨條;3-3-磨條座;磨條座;4-4-聯(lián)軸器聯(lián)軸器。 用細粒度的磨具對工件施加一定壓力,并作往復(fù)振用細粒度的磨具對工件施加一定壓力,并作往復(fù)振動和慢速縱向進給運動,以實現(xiàn)微量磨削的
30、一種光整加動和慢速縱向進給運動,以實現(xiàn)微量磨削的一種光整加工方法。工方法。 超精加工能加工鋼、鑄鐵、銅合金、鋁合金、陶瓷超精加工能加工鋼、鑄鐵、銅合金、鋁合金、陶瓷 、玻璃、硅和鍺等各種金屬與非金屬玻璃、硅和鍺等各種金屬與非金屬, ,可以加工外圓、平面、可以加工外圓、平面、內(nèi)孔和各種曲面。內(nèi)孔和各種曲面。 尤其適用加工內(nèi)燃機曲軸、凸輪軸、活塞、活塞銷尤其適用加工內(nèi)燃機曲軸、凸輪軸、活塞、活塞銷等的光整加工。超精加工可在普通車床、外圓磨床上進等的光整加工。超精加工可在普通車床、外圓磨床上進行,對于批量較大的生產(chǎn)則宜在專用機床上進行。工作行,對于批量較大的生產(chǎn)則宜在專用機床上進行。工作時應(yīng)充分地加
31、潤滑油,以便形成油膜和清洗極細地磨屑。時應(yīng)充分地加潤滑油,以便形成油膜和清洗極細地磨屑。 超精加工后地工件表面粗糙度超精加工后地工件表面粗糙度RaRa值約在值約在0.10.10.006m0.006m之間。之間。 拋光是利用機械、化學或電化學地作用,使工件獲拋光是利用機械、化學或電化學地作用,使工件獲的光亮、平整表面的加工方法拋光的主要工具用品有軟的光亮、平整表面的加工方法拋光的主要工具用品有軟輪和磨膏等。輪和磨膏等。 軟輪用皮革、毛氈、帆布等材料疊制而成,具有一軟輪用皮革、毛氈、帆布等材料疊制而成,具有一定的彈性,以便拋光時能按工件形狀而變形,增加拋光定的彈性,以便拋光時能按工件形狀而變形,增
32、加拋光面積或加工曲面。面積或加工曲面。 磨膏由磨料和油脂磨膏由磨料和油脂( (包括硬脂酸、煤油、石蠟等)配包括硬脂酸、煤油、石蠟等)配置而成。置而成。 拋光是安排在工件精加工之后進行,拋光之后的工拋光是安排在工件精加工之后進行,拋光之后的工件,粗糙度件,粗糙度RaRa值可達值可達0.10.10.012m,0.012m,并能明顯增加光亮并能明顯增加光亮度,但不能甚至不能保持原有的精度。度,但不能甚至不能保持原有的精度。 拋光可在拋光機或砂帶磨床上進行。拋光可在拋光機或砂帶磨床上進行。 特種加工方法是不僅用機械能而且更多的應(yīng)用電能、特種加工方法是不僅用機械能而且更多的應(yīng)用電能、化學能、聲能、光能、
33、磁能等進行加工。這些加工方法化學能、聲能、光能、磁能等進行加工。這些加工方法, ,在某種意義上說在某種意義上說, ,即不使用普通刀具來切削工件材料即不使用普通刀具來切削工件材料, ,而而是直接利用能量進行加工是直接利用能量進行加工, ,與傳統(tǒng)的切屑加工相比較與傳統(tǒng)的切屑加工相比較, ,具具有以下特點:有以下特點: 切除材料的能量不主要靠機械能,主要為其他形切除材料的能量不主要靠機械能,主要為其他形式的能量;式的能量; “以柔克剛以柔克剛” ” 工具材料的硬度可低于工件材料的工具材料的硬度可低于工件材料的硬度,或者有傳統(tǒng)意義的刀具。硬度,或者有傳統(tǒng)意義的刀具。 在加工過程中在加工過程中, ,工具
34、與工件之間不存在顯著的機工具與工件之間不存在顯著的機械切削力。相應(yīng)的切削物理現(xiàn)象不明顯。械切削力。相應(yīng)的切削物理現(xiàn)象不明顯。 加工能量易于控制、轉(zhuǎn)換,可復(fù)合成新的工藝技加工能量易于控制、轉(zhuǎn)換,可復(fù)合成新的工藝技術(shù),適應(yīng)加工范圍廣。術(shù),適應(yīng)加工范圍廣。 電火花加工是基于脈沖放電蝕除原理產(chǎn)生的電火花加工是基于脈沖放電蝕除原理產(chǎn)生的, ,故又稱故又稱放電加工或電蝕加工。放電加工或電蝕加工。 電火花加工原理圖電火花加工原理圖, ,由脈沖電源、自動進給調(diào)節(jié)裝置、由脈沖電源、自動進給調(diào)節(jié)裝置、工作液循環(huán)系統(tǒng)、工具電極等組成。工作液循環(huán)系統(tǒng)、工具電極等組成。 加工時,脈沖電源的一極接工具電極加工時,脈沖電源
35、的一極接工具電極, ,另一極接工件電極。兩極另一極接工件電極。兩極均浸入具有一定絕緣度的液體介質(zhì)(常用煤油或礦物油)中。工具均浸入具有一定絕緣度的液體介質(zhì)(常用煤油或礦物油)中。工具電極由自動進給調(diào)節(jié)裝置控制,以保證工具與工件在正常加工時維電極由自動進給調(diào)節(jié)裝置控制,以保證工具與工件在正常加工時維持一很小的放電間隙(持一很小的放電間隙(0.010.050.010.05)。)。 當脈沖電壓當脈沖電壓(100v(100v左右左右) )加到兩極之間,由于工具電極和工件之加到兩極之間,由于工具電極和工件之間的表面不是完全平滑的,而是存在著凹凸不平處,便將當時條件間的表面不是完全平滑的,而是存在著凹凸不
36、平處,便將當時條件下極間最近點的液體介質(zhì)擊穿,形成放電通道。下極間最近點的液體介質(zhì)擊穿,形成放電通道。 由于通道的截面積很小由于通道的截面積很小, ,放電時間極短放電時間極短, ,致使能量高度集中致使能量高度集中(106107w/(106107w/2),2),放電區(qū)域產(chǎn)生瞬間高溫放電區(qū)域產(chǎn)生瞬間高溫(5000)(5000)足以使材料熔化甚足以使材料熔化甚至汽化,以致形成一個小凹坑。至汽化,以致形成一個小凹坑。 第一次脈沖放電結(jié)束之后,間隔極短時間,第二個脈沖又在另第一次脈沖放電結(jié)束之后,間隔極短時間,第二個脈沖又在另一極間最近點擊穿放電。一極間最近點擊穿放電。 如此周而復(fù)始高頻率地循環(huán)下去,工
37、具電極不斷地向工件進給,如此周而復(fù)始高頻率地循環(huán)下去,工具電極不斷地向工件進給,它的形狀最終就復(fù)制在工件上,形成所需要的加工表面。當然工具它的形狀最終就復(fù)制在工件上,形成所需要的加工表面。當然工具也有損耗。也有損耗。 可加工任何硬、脆、軟、韌和高熔點的導(dǎo)電材料,可加工任何硬、脆、軟、韌和高熔點的導(dǎo)電材料,如硬質(zhì)合金、導(dǎo)電陶瓷、不銹鋼、鈦合金、工業(yè)純鐵、如硬質(zhì)合金、導(dǎo)電陶瓷、不銹鋼、鈦合金、工業(yè)純鐵、人造聚晶金剛石等,還可加工半導(dǎo)體和非導(dǎo)體材料。人造聚晶金剛石等,還可加工半導(dǎo)體和非導(dǎo)體材料。 加工時,工具與工件不接觸,加工時,工具與工件不接觸,“切削力切削力”極小。極小。故適合于低剛度工件和微細
38、結(jié)構(gòu)的加工。特別適合加工故適合于低剛度工件和微細結(jié)構(gòu)的加工。特別適合加工復(fù)雜截面的形孔和形腔。復(fù)雜截面的形孔和形腔。 由于脈沖放電持續(xù)時間極短,加工表面的影響極由于脈沖放電持續(xù)時間極短,加工表面的影響極小。故可加工熱敏感性很強的材料;小。故可加工熱敏感性很強的材料; 加工的表面,由許多小的弧坑組成,有助于油膜加工的表面,由許多小的弧坑組成,有助于油膜形成,改善潤滑。形成,改善潤滑。 調(diào)整脈沖參數(shù),可以在同一臺機床上依次進行粗、調(diào)整脈沖參數(shù),可以在同一臺機床上依次進行粗、精加工;精加工; 易于實現(xiàn)自動控制。易于實現(xiàn)自動控制。 (a)(a)加工通孔加工通孔 (b)(b)加工模具形腔加工模具形腔 (
39、c) (c) 加工環(huán)形內(nèi)腔加工環(huán)形內(nèi)腔 (d) (d) 加工彎孔加工彎孔 (e)(e)切割板料切割板料 (f) (f) 磨拉絲模內(nèi)表面磨拉絲模內(nèi)表面 電解加工是利用金屬在電解液中發(fā)生陽極溶解的原電解加工是利用金屬在電解液中發(fā)生陽極溶解的原理理, ,將零件加工成形的一種方法將零件加工成形的一種方法 。 加工時加工時, ,工件接直流電源的正極工件接直流電源的正極( (陽極陽極) ),按形狀要求,按形狀要求制成的工具接負極制成的工具接負極( (陰極陰極) ) 兩極間保持兩極間保持0.11mm0.11mm的間隙,的間隙,具有一定壓力(具有一定壓力(0.52.5Mpa0.52.5Mpa)的電解液從兩極間
40、隙中高)的電解液從兩極間隙中高速速(560m/s)(560m/s)流過。流過。 接通直流電源后,工具陰極的凸出部分與工件陽極接通直流電源后,工具陰極的凸出部分與工件陽極的電極間隙最小,此處的電流密度最大,單位時間內(nèi)消的電極間隙最小,此處的電流密度最大,單位時間內(nèi)消耗的電量最多。耗的電量最多。 根據(jù)法拉第定律,金屬陽極的溶解量與通過的電量根據(jù)法拉第定律,金屬陽極的溶解量與通過的電量成正比。成正比。 因此工件上與工具陰極凸起部位的對應(yīng)部位比其他因此工件上與工具陰極凸起部位的對應(yīng)部位比其他地方溶解迅速地方溶解迅速, ,并隨即被高速的電解液沖走。并隨即被高速的電解液沖走。 同時工具陰極以一定速度同時工
41、具陰極以一定速度(0.53mm/min)(0.53mm/min)向工件進給向工件進給, ,達到預(yù)定的加工深度時達到預(yù)定的加工深度時, ,就獲需形狀。就獲需形狀。 加工范圍廣,不受材料本身硬度、強度的限制,加工范圍廣,不受材料本身硬度、強度的限制,高硬、高強度及韌性的導(dǎo)電材料。可加工各種復(fù)雜形面。高硬、高強度及韌性的導(dǎo)電材料??杉庸じ鞣N復(fù)雜形面。 無機械切削力和切削熱作用無機械切削力和切削熱作用 工件不會產(chǎn)生殘余應(yīng)力、變形及加工變質(zhì)層,也沒工件不會產(chǎn)生殘余應(yīng)力、變形及加工變質(zhì)層,也沒有飛邊毛剌。有飛邊毛剌。 加工精度高加工精度高 可達可達0.1mm0.1mm至至0.01mm0.01mm;表面粗糙
42、度;表面粗糙度RaRa值一般可達值一般可達0.8m0.8m,最小,最小RaRa值可達值可達0.1m0.1m。 工具無損耗壽命常工具無損耗壽命常 在加工中,工具只發(fā)生氫氣和沉淀而無溶解作用,在加工中,工具只發(fā)生氫氣和沉淀而無溶解作用,理論上無損耗,使用壽命長。理論上無損耗,使用壽命長。 生產(chǎn)率較高生產(chǎn)率較高 為電火花加工的為電火花加工的510510倍,有時甚至高于機械切削。倍,有時甚至高于機械切削。 缺點也不少缺點也不少 電解加工的附屬設(shè)備多,造價高,占地面積大,加電解加工的附屬設(shè)備多,造價高,占地面積大,加工穩(wěn)定性不高。電解液有腐蝕性,電解產(chǎn)物有污染,也工穩(wěn)定性不高。電解液有腐蝕性,電解產(chǎn)物有
43、污染,也應(yīng)引起重視。應(yīng)引起重視。 電解整體葉輪:葉身形面形狀復(fù)雜,精度要求高,電解整體葉輪:葉身形面形狀復(fù)雜,精度要求高,加工量大,用電解加工,比機械加工工期短、效率高,加工量大,用電解加工,比機械加工工期短、效率高,質(zhì)量好。質(zhì)量好。 它是利用超聲振動為工具進行加工的。它是利用超聲振動為工具進行加工的。 加工時,在工件和工具之間加入液體(水或煤油)加工時,在工件和工具之間加入液體(水或煤油)和磨料混合的懸浮液,并使工具以很小的力和磨料混合的懸浮液,并使工具以很小的力F F輕輕壓在工輕輕壓在工件上。超聲波發(fā)生的超聲頻振蕩,通過換能器轉(zhuǎn)換成件上。超聲波發(fā)生的超聲頻振蕩,通過換能器轉(zhuǎn)換成16000H
44、z16000Hz以上的超聲頻縱向振動,并借助于變幅桿把振幅以上的超聲頻縱向振動,并借助于變幅桿把振幅放大到放大到0.050.1mm0.050.1mm左右。左右。 變幅桿驅(qū)動工具作超聲振動,并以工具端面迫使工變幅桿驅(qū)動工具作超聲振動,并以工具端面迫使工作液中懸浮的磨粒以很大的速度不斷撞擊和研磨工件表作液中懸浮的磨粒以很大的速度不斷撞擊和研磨工件表面,把工件加工區(qū)域內(nèi)的材料破碎成很細的微粒并打擊面,把工件加工區(qū)域內(nèi)的材料破碎成很細的微粒并打擊下來。下來。 既然是基于局部的撞擊作用,可見,越是硬脆的材既然是基于局部的撞擊作用,可見,越是硬脆的材料,受到的破壞越大,也就越好加工。反之,脆性和硬料,受到
45、的破壞越大,也就越好加工。反之,脆性和硬度不大的塑性材,由于有緩沖作用而難加工。度不大的塑性材,由于有緩沖作用而難加工。 工具可用相對較軟的材料工具可用相對較軟的材料 如如4545號鋼,做成較復(fù)雜的形狀,故工具和工件間無號鋼,做成較復(fù)雜的形狀,故工具和工件間無須復(fù)雜的相對運動,因此超聲波機床的結(jié)構(gòu)簡單,操作、須復(fù)雜的相對運動,因此超聲波機床的結(jié)構(gòu)簡單,操作、維修也方便。維修也方便。 適合加工薄壁、窄縫、低剛度工件適合加工薄壁、窄縫、低剛度工件加工過程中工具對工件材料的宏觀作用力小,熱影響小,加工過程中工具對工件材料的宏觀作用力小,熱影響小,不致引起變形及燒傷,表面粗糙度也較低,不致引起變形及燒
46、傷,表面粗糙度也較低,RaRa值可達值可達10.1m10.1m,加工精度可達,加工精度可達0.020.01 mm 0.020.01 mm 。 磨粒硬度一般應(yīng)比被加工材料高,雖加工精度高,磨粒硬度一般應(yīng)比被加工材料高,雖加工精度高,但工具磨損大,生產(chǎn)效率低。但工具磨損大,生產(chǎn)效率低。 超聲加工雖生產(chǎn)率低,但其加工精度、表面粗糙度超聲加工雖生產(chǎn)率低,但其加工精度、表面粗糙度都較理想,能加工半導(dǎo)體,非導(dǎo)體的硬脆材料,如石英、都較理想,能加工半導(dǎo)體,非導(dǎo)體的硬脆材料,如石英、寶石、鎢及鎢合金、瑪瑙等。另外,如寶石軸承、拉絲寶石、鎢及鎢合金、瑪瑙等。另外,如寶石軸承、拉絲模、噴絲頭,還可以用于超聲拋光、
47、光整加工、復(fù)合加模、噴絲頭,還可以用于超聲拋光、光整加工、復(fù)合加工等許多方面。工等許多方面。 高能束加工是利用被聚焦到加工部位上的高能量密高能束加工是利用被聚焦到加工部位上的高能量密度射束,去除工件上多余材料的加工方法。度射束,去除工件上多余材料的加工方法。(1 1)激光加工的基本原理、特點及應(yīng)用)激光加工的基本原理、特點及應(yīng)用 (a a)功率密度高)功率密度高 可加工以往認為難加工的任何材料??杉庸ひ酝J為難加工的任何材料。 (b b)接觸式加工)接觸式加工, ,不污染材料不污染材料 加工速度快、熱影響區(qū)小,變形也小,易于實現(xiàn)自加工速度快、熱影響區(qū)小,變形也小,易于實現(xiàn)自動控制。動控制。 (
48、c c)能通過透明體進行加工)能通過透明體進行加工 如對真空管內(nèi)部進行焊接等。如對真空管內(nèi)部進行焊接等。 (d d)可精細加工)可精細加工 因為輸出功率可調(diào),所以可用于精密微細加工,加因為輸出功率可調(diào),所以可用于精密微細加工,加工速度極高,打一個孔只需工速度極高,打一個孔只需0.001s;0.001s;加工精度可達加工精度可達0.001mm; 0.001mm; 表面粗糙度表面粗糙度RaRa值值0.40.1m0.40.1m。 (e e)工具不損不換)工具不損不換 作為非接觸性加工作為非接觸性加工, ,不需要工具不需要工具, ,所以不存在工具損所以不存在工具損耗和更換等到問題。耗和更換等到問題。
49、(f f)裝置簡單)裝置簡單, ,工作可靠工作可靠 與電子束加工機相比,不需要真空,也不需要與電子束加工機相比,不需要真空,也不需要X X射線射線進行防護。因此裝置簡單,工作可靠。進行防護。因此裝置簡單,工作可靠。 激光加工的應(yīng)用激光加工的應(yīng)用 如打孔、金剛石模具、鐘表軸承、陶瓷、橡膠、塑如打孔、金剛石模具、鐘表軸承、陶瓷、橡膠、塑料等非金屬以及硬質(zhì)合金、不銹鋼等金屬材料,如硬質(zhì)料等非金屬以及硬質(zhì)合金、不銹鋼等金屬材料,如硬質(zhì)合金的噴絲頭,一般要在合金的噴絲頭,一般要在100mm 100mm 的部位打出的部位打出1200012000多個多個直徑為直徑為60m60m的小孔。的小孔。 切割金屬、木
50、材、紙、布料、皮革、陶瓷、塑料等。切割金屬、木材、紙、布料、皮革、陶瓷、塑料等。 激光還在焊接、熱處理、劃線、調(diào)動平衡、微調(diào)等。激光還在焊接、熱處理、劃線、調(diào)動平衡、微調(diào)等。多方面有廣泛的用途。多方面有廣泛的用途。(2 2)電子束加工的基本原理、特點及應(yīng)用)電子束加工的基本原理、特點及應(yīng)用 電子束加工的特點:電子束加工的特點: (a a)加工材料范圍廣)加工材料范圍廣, ,且與材料強度無關(guān)。且與材料強度無關(guān)。 (b b)加工速度快,效率非常高。)加工速度快,效率非常高。 每分鐘可在每分鐘可在0.1mm0.1mm厚的鋼板上加工出厚的鋼板上加工出30003000個直徑為個直徑為0.2mm0.2mm
51、的孔。的孔。 (c c)屬精密微細加工方法)屬精密微細加工方法 電子束可實現(xiàn)極其微細的聚焦電子束可實現(xiàn)極其微細的聚焦( (可達可達0.1m).0.1m).能加工能加工微孔、窄縫、半導(dǎo)體集成電路等。微孔、窄縫、半導(dǎo)體集成電路等。 (d d)加工工件不變形)加工工件不變形 非接觸加工,不存在工具磨耗問題,無機械切削力非接觸加工,不存在工具磨耗問題,無機械切削力作用,工件不易產(chǎn)生宏觀應(yīng)力和變形。作用,工件不易產(chǎn)生宏觀應(yīng)力和變形。 (e e)適宜加工純潔高的要求)適宜加工純潔高的要求 污染少污染少, ,不易氧化不易氧化, ,特適用加工易氧化的金屬及合金特適用加工易氧化的金屬及合金材料材料, ,及純度要求極高的半導(dǎo)體材料。及純度要求極高的半導(dǎo)體材料。 (f f)可控制性能好)可控制性能好 亦可采用計算機進行控制。亦可采用計算機進行控制。 原理:真空條件下,由電子槍原理:真空條件下,由電子槍旁熱陰極發(fā)射的電子,在高電旁熱陰極發(fā)射的電子,在高電壓(壓(80200kV80200kV)作用下被加速)作用下被加速到很高的速度(到很
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