JJF(浙) 1196-2023 激光對(duì)中儀校準(zhǔn)規(guī)范

浙

江

省

地

方

計(jì)

量

技

術(shù)

規(guī)

范激光對(duì)中儀校準(zhǔn)規(guī)范Calibration

Specificationfor

LaserAlignment

2023-04-17

發(fā)布 2023-07-17

實(shí)施浙江省市場(chǎng)監(jiān)督管理局 發(fā)

布JJF（浙）

Calibration

for

LaserAlignment

歸

口

單

位

：

浙江省市場(chǎng)監(jiān)督管理局主要起草單位：

廣電計(jì)量檢測(cè)（杭州）有限公司參加起草單位：

廣州廣電計(jì)量檢測(cè)股份有限公司杭州市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督檢測(cè)院JJF（浙）

本規(guī)范主要起草人：龔俊慶（廣電計(jì)量檢測(cè)（杭州）有限公司）許照乾（廣電計(jì)量檢測(cè)（杭州）有限公司）曾陽平（廣電計(jì)量檢測(cè)（杭州）有限公司）參與起草人：謝才智（廣州廣電計(jì)量檢測(cè)股份有限公司）劉曉琴（廣州廣電計(jì)量檢測(cè)股份有限公司）杜騰鋒（廣州廣電計(jì)量檢測(cè)股份有限公司）李平（廣州廣電計(jì)量檢測(cè)股份有限公司）朱騰飛（杭州市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督檢測(cè)院）JJF（浙）

JJF（浙）

JJF

JJF

《測(cè)量不確定度評(píng)

JJF

IIJJF（浙）

0.001mm±20mm

2

43

541

67

—裝夾附件；1mm1mm±0.010±0.01JJF（浙）

表1

mm

表1

mm

±2

0min

0.001mm

0.001mm

20±2/h

JJF（浙）

固定端測(cè)量單元水平固定在萬能工具顯微鏡的主顯微鏡上，調(diào)整端測(cè)量單元使用專用夾具水平固定，并居中放置在玻璃工作臺(tái)上。調(diào)節(jié)調(diào)整端測(cè)量單元立柱軸線平行于縱向滑板移動(dòng)方向。移動(dòng)縱橫向滑板，使固定端、調(diào)整端測(cè)量單元激光大致相互對(duì)準(zhǔn)靶板或傳感器中心位置。水平往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)固定端測(cè)量單元的專用夾具，同時(shí)觀察測(cè)量主機(jī)上的讀數(shù)值，使固定端測(cè)量單元處于讀數(shù)轉(zhuǎn)折點(diǎn)位置，則此時(shí)固定端、調(diào)整端測(cè)量單元的測(cè)量軸線處于相互平行狀移動(dòng)縱向滑板至各校準(zhǔn)點(diǎn)，依次讀取固定端、調(diào)整端測(cè)量單元的示值。根據(jù)激光對(duì)中儀

JJF（浙）

在激光對(duì)中儀水平方向或豎直方向位移示值測(cè)量范圍中段任一位置作為起點(diǎn)，移動(dòng)萬能工具顯微鏡縱向或橫向滑板至位移某一示值，此時(shí)記錄激光對(duì)中儀位移示值，移動(dòng)萬能工具顯微鏡滑板反向回到起點(diǎn)，重復(fù)上述操作次，測(cè)得個(gè)固定端測(cè)量單元水平方向或豎直方

,mm

,mmmm

將固定端測(cè)量單元固定在數(shù)顯分度頭工作臺(tái)面上，旋轉(zhuǎn)數(shù)顯分度頭，使固定端測(cè)量單元元傾角示值，應(yīng)在傾角測(cè)量范圍內(nèi)每45°間隔依次選取校準(zhǔn)點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量。固定端測(cè)量單元的

JJF（浙）

10min

進(jìn)行校準(zhǔn)的日期,如果與校準(zhǔn)結(jié)果的有效性和應(yīng)用有關(guān)時(shí)，應(yīng)說明被校對(duì)象的接收

JJF（浙）

激光對(duì)中儀校準(zhǔn)原始記錄格式

激光對(duì)中儀校準(zhǔn)原始記錄格式

JJF（浙）

附錄

A固定端測(cè)量單元受檢點(diǎn)4590調(diào)整端測(cè)量單元受檢點(diǎn)4590固定端測(cè)量單元位移(mm)10調(diào)整端測(cè)量單元位移(mm)10JJF（浙）

固定端測(cè)量單元受檢點(diǎn)4590調(diào)整端測(cè)量單元受檢點(diǎn)4590JJF

附錄

B激光對(duì)中儀校準(zhǔn)證書（內(nèi)頁）格式

mmJJF

mm附錄

C位移示值誤差校準(zhǔn)結(jié)果的不確定度評(píng)定C.1

固定端測(cè)量單元水平固定在萬能工具顯微鏡的主顯微鏡上，調(diào)整端測(cè)量單元使用專用夾具水平固定，并居中放置在玻璃工作臺(tái)上。調(diào)節(jié)調(diào)整端測(cè)量單元立柱軸線平行于縱向滑板移動(dòng)方向。移動(dòng)縱橫向滑板，使固定端、調(diào)整端測(cè)量單元激光大致相互對(duì)準(zhǔn)靶板或傳感器中心位置。水平往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)固定端測(cè)量單元的專用夾具，同時(shí)觀察測(cè)量主機(jī)上的讀數(shù)值，使固定端測(cè)量單元處于讀數(shù)轉(zhuǎn)折點(diǎn)位置，則此時(shí)固定端、調(diào)整端測(cè)量單元的測(cè)量軸線處于相互平行狀示值誤差。本文以分辨力0.01mm0.001mm的激光對(duì)中儀為例，進(jìn)行位移示值誤差不確定C.2

C.3C.3.1

萬能工具顯微鏡最大允許誤差為，激光對(duì)中儀單向測(cè)量范圍一般不大于20mmC.3.2

使用萬能工具顯微鏡分別對(duì)分辨力

0.01mm

0.001mm

10mm

10JJF

次連續(xù)重復(fù)測(cè)量得到測(cè)量列，分辨力為

0.01mm

10.04mm,

10.04mm10.04mm10.04mm10.04mm10.05mm10.05mm10.05mm10.05mm10.05mm

0.001mm

10.043mm,

10.043mm10.044mm10.044mm10.044mm10.044mm10.044mm10.044mm10.045mm10.045mm

mm

mm

mm

mm

0.01mm

mm

0.001mm

mmC.3.3

0.01mm

0.001mm

0.01mm

0.001mm

量重復(fù)性所引入的不確定度分量大于激光對(duì)中儀分辨力引入的不確定度分量，則后者已經(jīng)0.01mm0.0007mm0.0042mm0.001mm0.0007mm0.0007mmJJF

C.4

C.4.1

C.4.2

C.4.1

0.01mm

mm

0.001mm

mmC.5

0.01mm

mm

0.001mm

mm12

JJF

附錄

D傾角示值誤差校準(zhǔn)結(jié)果的不確定度評(píng)定

使用數(shù)顯分度頭對(duì)激光對(duì)中儀進(jìn)行傾角示值誤差校準(zhǔn)。將固定端測(cè)量單元固定在數(shù)顯分時(shí)將數(shù)顯分度頭置零，轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)顯分度頭至各校準(zhǔn)點(diǎn)，讀取固定端測(cè)量單元傾角計(jì)讀數(shù)值，傾

D.3D.3.1

D.3.2

u2

次連續(xù)重復(fù)測(cè)量得到測(cè)量列分辨力為

°測(cè)量列：

°，

°，

13JJF

D.3.3

u3u3

當(dāng)分辨力為

°時(shí)，測(cè)量重復(fù)性所引入的不確定度分量大于對(duì)中儀傾